據(jù)麥姆斯咨詢報道,近日,濱松光子(Hamamatsu Photonics)宣布其開發(fā)出一種高密度集成技術(shù),用以創(chuàng)建iPMSEL(可集成相位調(diào)制表面發(fā)射激光器)陣列元件。該公司表示,作為全球最小級別的半導(dǎo)體激光器,它能夠發(fā)射2D模式的激光束。濱松在一份聲明中表示:“通過利用這項技術(shù),我們成功地開發(fā)了一款iPMSEL陣列,該陣列由16個發(fā)光單元組成,在面積為2平方毫米的微型芯片上形成四排四列的布局?!?/p>
上述芯片上的每個iPMSEL陣列單元都可以獨立控制,以切換其所輸出的激光束圖案,從而使該iPMSEL陣列適用于需要高精度的三維測量儀器(系統(tǒng))。該陣列由16個iPMSEL陣列單元組成,每個單元大是邊長約為200μm的正方形,并在2平方毫米的芯片上完成高密度和高精度一體成形。該陣列在發(fā)射激光束的同時,通過對每個發(fā)光單元的電氣控制來實現(xiàn)各種高精度激光束圖案之間的切換輸出。
左圖:iPMSEL陣列由16個發(fā)光單元組成。右圖:由VCSEL、DOE和iPMSEL陣列組成的光束模式光源概念圖。
產(chǎn)品概述和應(yīng)用
iPMSEL陣列能夠切換輸出10000多個點、條紋、網(wǎng)格、字符、CG等圖案。濱松表示,他們已開發(fā)出利用其自主的全息設(shè)計和精微加工技術(shù),以及基于光子晶體表面發(fā)射激光器的iPMSEL發(fā)光單元。光子晶體垂直腔面發(fā)射激光器是以京都大學(xué)野田研究室所開發(fā)的二維光子晶體(按光波長尺寸排列的微型結(jié)構(gòu))作為諧振器的垂直腔面發(fā)射激光器。
濱松補充表示:“我們目前開發(fā)的iPMSEL陣列能夠執(zhí)行高精度3D測量,例如相移法。據(jù)悉,相移法(phase-shifting method)是一種通過將周期性輸出的二維光束圖像照射到目標(biāo)物體上,并解析由物體形狀產(chǎn)生的光束失真,從而達到對表面三維形狀進行高精度測量的一種技術(shù)。
此外,iPMSEL陣列還可用于提高3D動作捕捉和3D臉部識別的準(zhǔn)確性。此外,通過高密度集成技術(shù)實現(xiàn)的小型輕量化優(yōu)勢,它還可被應(yīng)用于醫(yī)療和工業(yè)領(lǐng)域的緊湊型便攜式光纖內(nèi)窺鏡等設(shè)備中。
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