國產(chǎn)光刻機水平

在全球光刻機領域，世人關注的不外乎荷蘭ASML，因為ASML所研發(fā)的EUV光刻機是行業(yè)內(nèi)不可逾越的一座大山。想要制造芯片，就離不開光刻機設備，根據(jù)芯片種類的不同，使用的光刻機也是不一樣的。

比如生產(chǎn)高端5nm芯片就要用上EUV光刻機，生產(chǎn)7nm及以上的，DUV光刻機基本上能夠滿足。而國產(chǎn)光刻機巨頭上海微電子掌握的光刻機水平是第四代ArF光源，波長在193nm。

據(jù)市場消息，上海微電子即將在2021年年底左右，發(fā)布28nm制程的浸沒式光刻機。距離第五代EUV極紫外光源的光刻機，還有一定進步空間。但已經(jīng)發(fā)展到第四代，相信距離第五代的突破，未來也一定能實現(xiàn)。

02高度自研光刻機

就在這時候傳來了一則好消息，中國激光巨頭大族激光強勢崛起，正式對外銷售光刻機。

據(jù)了解，有投資者向大族激光詢問是否考慮研發(fā)光刻機。大族激光給出了明確的答案。

大族激光回應表示，該公司研發(fā)的光刻機項目分辨率是在3-5um，主要聚焦分立器件，LED領域的應用，目前已經(jīng)實現(xiàn)小批量銷售。

簡短的一則回復卻透露出很多信息，首先大族激光研發(fā)的光刻機主要用于分立器件，LED領域。這部分的市場是撐起國產(chǎn)高端元器件重要的供應鏈，也是不可或缺的一部分。

需求不亞于手機芯片制造，根據(jù)光刻機種類的不同，制造的類目產(chǎn)品也是不一樣的。比如日本光刻機巨頭佳能推出的高性能光刻機，主要用于生產(chǎn)小型基板。

其次大族激光稱實行小批量銷售，說明在產(chǎn)品的研發(fā)上是取得實際進展的，已經(jīng)正式對外銷售光刻機。后續(xù)或許只需要提高產(chǎn)能，擴大基礎優(yōu)勢。最后根據(jù)公開資料顯示，大族激光研發(fā)設計并生產(chǎn)的設備，核心零件有90%為自研。所以帶來了高度自研產(chǎn)品。

03國產(chǎn)光刻機供應鏈

從宏觀角度來看，大族激光作為一家專業(yè)的激光技術公司，其生產(chǎn)的光刻機主要面向封測范疇。但隨著業(yè)務擴展，相信一定能取得更大的進步，盡早把90%的自產(chǎn)率提升到100%。

光刻機需要用上非常多的技術和零部件，有時候市場上一家頂尖企業(yè)，可能只是光刻機其中一個零件或者技術的供應商。因為沒有一家公司能夠完整擁有所有技術的自產(chǎn)能力。

所以想要制造出頂尖的光刻機，就需要供應鏈的完備。在這一點上，大族激光其中之一，國內(nèi)還有五家頂尖的核心零部件研發(fā)企業(yè)。

包括長春國科精密，這家企業(yè)是一家高端光學技術研發(fā)單位，復雜曝光光學系統(tǒng)。還有北京科益虹源負責提供光刻機光源系統(tǒng)。北京華卓精科負責生產(chǎn)提供光刻機雙工件臺，并且延伸出晶圓鍵合設備，超精密運動平臺等。

北京國望光學公司經(jīng)營光刻機高端鏡頭，光電儀器和設備等等。浙江啟爾機電主要研發(fā)光刻機浸沒系統(tǒng)。

這五大頂尖企業(yè)是國產(chǎn)光刻機供應鏈的頂梁柱，為國產(chǎn)光刻機保駕護航。如今再有一個大族激光強勢崛起，對外開始銷售光刻機。這也證明了，國產(chǎn)光刻機還在持續(xù)進步，未來屬于國產(chǎn)光刻機的舞臺，一定會閃亮登場。

04總結(jié)

雖然從整體上而言，國產(chǎn)光刻機距離國際主流水平還需要繼續(xù)發(fā)展，但有這些完備的供應鏈，遲早有一天會迎來屬于國產(chǎn)光刻機的未來。

大族激光帶來的光刻機同樣如此，至少在核心零部件方面已經(jīng)達到了高度自研水準。隨著國家對半導體市場的關注，扶持，一定會投入大量資源助力企業(yè)成長。人才、設備、資源等問題，都將迎刃而解。

對此，你有什么看法呢？