要想在機(jī)械加工中實(shí)施高成本效率的解決方案，高質(zhì)高速的微加工是非常重要的。使用激光器進(jìn)行微加工在近些年已經(jīng)有了穩(wěn)步發(fā)展，預(yù)計(jì)到2015年激光微加工市場(chǎng)將達(dá)到7.52億美元。隨著近年來(lái)激光技術(shù)的迅猛發(fā)展，納秒紫外半導(dǎo)體泵浦固體激光器的單脈沖能量和脈沖重復(fù)頻率(PRF)有了長(zhǎng)足的進(jìn)步。對(duì)于任何激光微加工應(yīng)用來(lái)說(shuō)，如果想要獲得材料去除最大化以及熱損傷最小化，那么有效利用激光器的能量是至關(guān)重要的。

     使用最優(yōu)化的能量密度 (J/cm2）對(duì)于短脈沖激光器的材料去除尤為重要。與長(zhǎng)脈沖相比，短脈沖將使得熱滲透深度更小，這意味著更小的殘留熱影響區(qū)(HAZ)，從而得以進(jìn)行嚴(yán)格控制下的精密微加工。這也是為什么許多業(yè)內(nèi)人士在其質(zhì)量要求最嚴(yán)格的應(yīng)用中使用納米短脈沖半導(dǎo)體泵浦固體激光器的原因了。

    與此同時(shí)，加工商總是希望得到更快的加工速度，而盡管短脈沖可以進(jìn)行快速的加工處理，但是如果工藝優(yōu)化不合適，那么將會(huì)導(dǎo)致相對(duì)較少的材料燒蝕（因?yàn)榧訜嵘疃容^淺）。當(dāng)僅僅簡(jiǎn)單地增加脈沖能量以獲得更快的加工處理時(shí)，有可能會(huì)影響到短脈沖在加工質(zhì)量方面的優(yōu)勢(shì)。所以，我們應(yīng)該考慮到短脈沖的加熱體積較小，因而燒蝕閾值更小，這意味著在實(shí)施材料去除的時(shí)候，對(duì)相同的輻照區(qū)域（例如焦點(diǎn)光斑尺寸）而言，更短的脈沖需求的輸入能量更少?？紤]到這一點(diǎn)，我們應(yīng)該靈活考慮激光器和加工過(guò)程，以及可行的脈沖能量在空間和時(shí)間上的分布方式，來(lái)確保同時(shí)獲得高質(zhì)量和高加工速度。

     為實(shí)現(xiàn)更高的加工速度，最直接的做法是增加能量密度，尤其是在激光能量較高時(shí)，但是這是一種效率低下的方法，而且有可能會(huì)降低加工的質(zhì)量。圖1和圖2的數(shù)據(jù)清楚地說(shuō)明了這一點(diǎn)。圖1顯示，在氧化鋁陶瓷上進(jìn)行深度為30微米的激光劃片時(shí)，不同的劃片速度所需要的能量密度。試驗(yàn)使用了Spectra-Physics Pulseo系列355-20調(diào)Q半導(dǎo)體泵浦固體激光器，短脈沖寬度小于23ns。數(shù)據(jù)顯示，能量密度增加為3倍，只能讓劃片速度提升為2倍。數(shù)據(jù)清楚地表明這是一種能量密度的能級(jí)過(guò)量的低效加工。圖2(a)和圖2(b)的顯微照片顯示了過(guò)度的加熱以及隨之而來(lái)的熱效應(yīng)將帶來(lái)更多的材料燒蝕，因而更高的能量密度下，劃片的寬度更大。

     在能量密度較低的情況下進(jìn)行加工，雖然以每焦耳為基礎(chǔ)的效率更高，但是實(shí)際上去除的材料減少了。在其他條件相同的情況下，這會(huì)限制加工速度。此外，如今最新的激光器擁有更高的脈沖能量，再使用低能量密度顯然不能與其保持一致。為了充分利用這種脈沖能量，我們的加工必須運(yùn)行在較低的能量密度下，但同時(shí)又可實(shí)現(xiàn)更高的處理速度以及高質(zhì)量。

     要想運(yùn)行在低能量密度下而不影響加工速度，從而更有效地利用更高的激光功率，最簡(jiǎn)單的方法就是使用更高的脈沖重復(fù)頻率，對(duì)于一個(gè)典型的倍頻或三倍頻(例如532或355nm)調(diào)Q半導(dǎo)體泵浦固體激光器來(lái)說(shuō)，輸出功率隨著脈沖重復(fù)頻率的提高而降低。因此，高脈沖重復(fù)頻率下的單脈沖能量以及能量密度較低；而由于脈沖重復(fù)頻率高，加工速度會(huì)更快。雖然本質(zhì)上每脈沖的材料去除量變少了，但是脈沖速度的增加最終會(huì)使凈加工效率得到提高。

    圖3中的數(shù)據(jù)說(shuō)明了當(dāng)脈沖重復(fù)頻率分別為100kHz和200kHz時(shí)氧化鋁陶瓷激光劃片速度和能量密度的函數(shù)關(guān)系，劃片深度為30微米。從圖中我們可以看到，當(dāng)激光器的脈沖重復(fù)頻率為200kHz時(shí)，在較低的能量密度下能獲得更高的劃片速度。而且更妙的是，當(dāng)脈沖重復(fù)頻率提高一倍時(shí)，劃片速度遠(yuǎn)不止翻番。圖4顯示在更高的脈沖重復(fù)頻率下（200kHz），劃片質(zhì)量不會(huì)受到影響。

    使激光器在更高的脈沖重復(fù)頻率下運(yùn)行，是最簡(jiǎn)單的一種在加工中控制能量密度的方法。但是更高的脈沖重復(fù)頻率通常會(huì)導(dǎo)致較低的激光輸出功率。那么是否可以使激光器在其最大輸出功率下運(yùn)行呢？這樣的話，對(duì)這一激光器系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，就可以達(dá)到其最大的加工速度。答案就是使用光束空間整形技術(shù)，例如橢圓光束加工和激光光束分束。這些技術(shù)可以使激光器在最大輸出功率對(duì)應(yīng)的脈沖重復(fù)頻率下運(yùn)行，因而可以得到最高的加工效率。當(dāng)然我們也要權(quán)衡由此給光學(xué)系統(tǒng)增加的復(fù)雜性和成本。

     使用橢圓激光光束進(jìn)行加工

     橢圓光束加工可用于深且窄的高速劃片。為此我們需要對(duì)光束進(jìn)行整形以確保理想的劃片寬度，因而有必要將光束沿著劃片的方向來(lái)拉長(zhǎng)，以獲得最佳的能量密度。當(dāng)短軸保持不變時(shí)，拉長(zhǎng)光束將會(huì)引起能量密度的線性減少。例如，光束拉長(zhǎng)一倍，能量密度將減少一半。而最佳的長(zhǎng)軸直徑主要取決于我們的劃片目標(biāo)。除了材料的種類，劃片深度也是一個(gè)因素。劃片越深，要求的能量密度也就越高（因此長(zhǎng)軸就越短）。

     通常，從典型的高斯圓形輸出激光光束變?yōu)闄E圓光束需要使用一個(gè)或多個(gè)柱面透鏡。出于方便，我們使用一對(duì)配對(duì)的柱面透鏡，它們焦距相同，但方向相反，也就是說(shuō)，一個(gè)鏡頭是平凸的，而另一個(gè)是平凹的，但它們非平面那一側(cè)具有相同的曲率半徑。當(dāng)這對(duì)透鏡置于最終的 聚焦目標(biāo)之前，可以調(diào)節(jié)鏡片之間的距離，以調(diào)整橢圓的長(zhǎng)軸（短軸保持固定）。當(dāng)距離為零時(shí)，光束維持其原始的圓形，因?yàn)樗旧现皇峭ㄟ^(guò)了一塊平面玻璃；隨著距離的增加，光束被拉得越來(lái)越長(zhǎng)。

    使用橢圓光束的主要優(yōu)點(diǎn)是可使激光器的高能量在空間中傳播并在目標(biāo)表面獲得最佳的能量密度。此外，也可以在保持短軸方向的窄的切口寬度不變的同時(shí)，來(lái)改變長(zhǎng)軸以調(diào)整激光器的能量密度。

    使用短軸為 ~ 10μm 、長(zhǎng)軸為~225μm、激光器的能量為~170μJ的橢圓形的光束，目標(biāo)表面的能量密度為19 J/cm2，我們可以在氧化鋁上以200 mm/s的速度進(jìn)行深度為30μm的劃片。實(shí)驗(yàn)表明該劃片的質(zhì)量良好，并且熱影響區(qū)(HAZ)很小。

     利用激光分束進(jìn)行加工

     傳統(tǒng)上，激光分束是將一束高能激光光束分成多束光束，以對(duì)不同材料或者同一材料的不同部位同時(shí)進(jìn)行加工；在此情況下，每一個(gè)分束都擁有不同的光路和聚焦目標(biāo)。而最近，設(shè)計(jì)師將分束用于鄰近的材料上，每一束分束都共享光路。甚至波束擁有相同的最終傳輸透鏡，因而可以使材料在很小的面積內(nèi)獲得相同的特性，而空間上仍然保持分離。在其他情況下，波束作用于靠得足夠近的材料上，以便獲得最大的加工效率同時(shí)仍保持高質(zhì)量?？梢酝ㄟ^(guò)新型的折射型透鏡來(lái)得到波束，例如微透鏡陣列或者專門制造的衍射光學(xué)元件(DOEs)。無(wú)論是哪種方法，最終的目的是要將激光器的高能量分成“N”個(gè)不同的波束；在理想的情況下，每個(gè)波束都有著最佳的低能量密度值，以獲得最高的加工效率。#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#

    在這里，我們使用MEMS Optical公司的1:7激光分束DOE元件，將能量為~170μJ的激光光束分成 7束波束，每束波束的能量密度為61 J/cm 2。通過(guò)1:7激光分束元件，我們可以在氧化鋁陶瓷上進(jìn)行深度為30μm的激光劃片，劃片速度為175 mm/s。除了較高的劃片速度以外，激光分束技術(shù)所帶來(lái)的好處還包括出色的劃片質(zhì)量，劃片寬度為~15μm，沒(méi)有明顯的熱影響區(qū)。值得指出的是，我們這里所使用的1:7激光分束元件并不是最佳的選擇，我們還可以獲得更高的劃片速度和更多的分束。但是，每個(gè)定制的DOE激光分束元件的費(fèi)用很高，所以在這里我們只采用了1:7激光分束元件來(lái)驗(yàn)證我們的理論，結(jié)果也很讓人滿意。

    表1中的數(shù)據(jù)清楚表明 ，可以通過(guò)不同的能量密度控制技術(shù)在氧化鋁陶瓷上進(jìn)行高質(zhì)量、高速度、深度為30μm的激光劃片。增加脈沖重復(fù)頻率是一個(gè)直接而有效的方法，而在空間上分配激光器的全部能量可以獲得更高的加工效率，盡管這需要在激光光束傳送系統(tǒng)上花費(fèi)額外的成本，而且也增加了復(fù)雜性。我們?cè)谶@里論證了，與僅僅簡(jiǎn)單地增加脈沖重復(fù)頻率相比，使用橢圓光束整形和1:N激光分束這兩種技術(shù)，可以帶來(lái)更高的加工效率，質(zhì)量也依然很高。

    總結(jié)

    為了獲得最大的材料去除以及最小的熱影響區(qū)，控制激光器在目標(biāo)表面的能量密度是至關(guān)重要的。可以使用多種能量密度控制技術(shù)以實(shí)現(xiàn)最佳的加工效率，對(duì)于每種技術(shù)我們都需要權(quán)衡它的性能、復(fù)雜性和成本。在某些情況下，可能僅僅調(diào)整激光器的脈沖重復(fù)頻率就可以獲得高效益及高質(zhì)量；而有時(shí)，空間能量密度控制技術(shù)，例如我們前面提到的橢圓光束整形和激光分束技術(shù)，可以更加充分地實(shí)現(xiàn)某一激光源的效率潛力，但是復(fù)雜性和成本也會(huì)隨之增加。如今，幾乎在所有的材料加工應(yīng)用中，我們都可以使用上述技術(shù)來(lái)充分有效地利用調(diào)Q半導(dǎo)體泵浦固體激光器的高能量和高脈沖重復(fù)頻率

作者：Jim Bovatsek, Ashwini Tamhankar