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軍工航天新聞

多路激光直寫裝配研制成功

星之球科技 來源:華工激光2011-11-23 我要評論(0 )   

中科院上海光學(xué)緊密機(jī)器研究所周常河研究員課題構(gòu)成功研制出多路激光直寫裝配。該裝配采納405nm的藍(lán)光激光光源,僧康0.9數(shù)值孔徑的透鏡,和主動聚焦體系,完成了25路高...

       中科院上海光學(xué)緊密機(jī)器研究所周常河研究員課題構(gòu)成功研制出多路激光直寫裝配。該裝配采納405nm的藍(lán)光激光光源,僧康0.9數(shù)值孔徑的透鏡,和主動聚焦體系,完成了25路高精度并行激光直寫,刻寫光斑的線寬小于600nm。比擬于傳統(tǒng)激光直寫體系,該裝配在刻寫速率和服從方面有了很大的進(jìn)步,幾十倍地收縮了激光直寫時間,可以疾速建造大尺寸、高精度衍射光學(xué)元件。

  激光束直寫技能是一種無需掩膜的光刻技能,根本事情道理是由計較機(jī)節(jié)制高精度激光束或樣品掃描,在光刻膠上或光敏質(zhì)料上刻寫出掩膜圖形。傳統(tǒng)的激光直寫裝配因為受單路激光刻寫的限定,服從低,時間長,只能利用于中、小尺寸光學(xué)器件的出產(chǎn)和制備。該裝配的樂成研制,有大概為中國的半導(dǎo)體系體例造及大尺寸微納光學(xué)加工范疇供給一種高機(jī)能、低本錢的技能手段,同時,也將鞭策我國在納米光刻,微納光學(xué)制作等范疇的進(jìn)步,對付研制我國大迷信工程、裝配和地理、航天、航空、印刷等行業(yè)所必要的大尺寸光學(xué)元件,起到踴躍的鞭策感化。

 

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