相干公司推出新型紫外光纖激光器Daytona™ 355-20,其不但能提供短脈沖皮秒激光器的精密加工能力,而且還具有二極管泵浦的Q開關(guān)固體激光器的高吞吐量。Daytona 355-20發(fā)射的亞納秒脈沖可提供超過20W的功率,重復(fù)頻率超過1MHz(波長(zhǎng)355 nm)。
此外,Daytona能實(shí)現(xiàn)TEM00(M2 <1.3)輸出光束,這使其成為精密微加工的理想選擇。而且,Daytona是一個(gè)高度靈活的平臺(tái),其可在寬泛的工作范圍調(diào)整,以滿足特定應(yīng)用的實(shí)際需要。例如,脈沖寬度可以在不足1ns到20ns之間調(diào)整,重復(fù)頻率可以從單脈沖發(fā)射調(diào)整到超過2MHz。
對(duì)周邊無(wú)熱損傷(熱影響區(qū)HAZ)的微加工的關(guān)鍵是:用很短的波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)冷燒蝕,并用短脈寬限制燒蝕過程中的熱傳導(dǎo)。傳統(tǒng)的Q開關(guān)UV激光器提供幾十納秒的脈沖寬度,這會(huì)產(chǎn)生很多應(yīng)用無(wú)法接受的熱影響區(qū)。在Daytona推出之前,人們唯一的選擇是使用脈寬達(dá)幾十皮秒的激光器,但這些光源并不能在紫外波段提供足夠高的輸出功率以滿足高吞吐量的工業(yè)需求。因此,Daytona是為這些應(yīng)用而推出的首個(gè)精密、高功率激光源。
Daytona適用的應(yīng)用包括晶圓切割、劃線、鉆孔(特別是低k材料)、觸摸屏和液晶顯示器的玻璃劃線、觸摸屏刻圖,以及太陽(yáng)能制造領(lǐng)域的薄膜劃線。
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