近日，Gigaphoton公司在LPP光源技術(shù)的研究上取得重大的突破，實(shí)現(xiàn)了高輸出低成本的穩(wěn)定LPP光源，研制出了輸出功率達(dá)20W的LPP EUV激光光源，將進(jìn)一步推動(dòng)著極EUV光源的發(fā)展。

    Gigaphoton公司18日宣布已經(jīng)成功將激光產(chǎn)生等離子體（LPP）EUV光源產(chǎn)品的輸出端等效最大功率推進(jìn)到了20W水平。該公司達(dá)成這個(gè)目標(biāo)所使用的方法是應(yīng)用固態(tài)預(yù)脈沖激光器，以100kHz頻率的CO2激光來轟擊錫靶標(biāo)。采用這種方法，該公司在光源運(yùn)行過程中達(dá)成了平均10W水平的輸出功率。由于目前普遍認(rèn)可的預(yù)生產(chǎn)型商用EUV光源輸出功率級(jí)別正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果標(biāo)志著預(yù)生產(chǎn)極EUV光源發(fā)展過程中的一個(gè)新里程碑。

    Gigaphoton公司自2002年起便專注于高輸出功率，經(jīng)濟(jì)型LPP光源的研發(fā)。幾年來該公司研發(fā)出了許多相關(guān)的技術(shù)，包括錫液滴尺寸低于20μm水平的按需式錫液滴生成技術(shù)，以及融合了短波長(zhǎng)固態(tài)預(yù)脈沖激光器技術(shù)，CO2激光技術(shù)，以及磁場(chǎng)式雜質(zhì)消除技術(shù)在內(nèi)的LPP EUV激光光源技術(shù)。

    據(jù)了解，其獨(dú)特的LPP光源技術(shù)可通過按需使用超小錫液滴、減少停機(jī)時(shí)間和成本，從而擴(kuò)展液滴發(fā)生器的壽命。此外，已通過優(yōu)化組合光源達(dá)到高EUV輸出轉(zhuǎn)換效率。為了使集光反射鏡的壽命最大化，使用一個(gè)超導(dǎo)磁體來生成強(qiáng)大的磁場(chǎng)，引導(dǎo)錫液滴熱膨脹所產(chǎn)生的不需要雜質(zhì)流向錫捕集器，以進(jìn)一步減少成本和停機(jī)時(shí)間。

    Gigaphoton公司的CEO兼總裁Hitoshi Tomaru指出，“事實(shí)上，我公司獨(dú)特的LPP光源技術(shù)現(xiàn)在能夠?qū)崿F(xiàn)一定程度的EUV輸出，足以媲美現(xiàn)有試制性能的EUV輸出，這一事實(shí)表明我公司的高輸出、低運(yùn)行成本、穩(wěn)定LPP光源等見解的確可以實(shí)現(xiàn)。”

     LPP EUV激光光源成功實(shí)現(xiàn)了20W的功率輸出，這對(duì)Gigaphoton公司是重要的進(jìn)步，不僅更加精湛了公司的LPP光源技術(shù)，并且憑借著先進(jìn)的技術(shù)，其產(chǎn)品必將在市場(chǎng)上贏得主流地位，為企業(yè)的發(fā)展注入了更新鮮的活力。