激光清洗是一種新的清洗方法，它利用激光的方向性和高亮度，通過光剝離、光分解等原理清除材料表面的污染物，具有簡單方便無二次污染等獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)。它可以用于液體、固體和氣體，適用范圍廣，尤其在除銹、除漆、除泥污、微電子汗液晶片表面處理等顯出優(yōu)越性。

傳統(tǒng)的清洗方法包括機(jī)械清洗法、化學(xué)清洗法和超聲波清洗法，它們在環(huán)境保護(hù)和高精度要求方面的應(yīng)用受到很大的限制。上世紀(jì)80年代，人們發(fā)現(xiàn)把高能量的激光束聚焦后照射一些物品的被污染部位，使被照射的物質(zhì)發(fā)生振動 、熔化 、蒸發(fā) 、燃燒等一系列復(fù)雜的物理化學(xué)過程，可以使污染物最終脫離物品表面，從而實(shí)現(xiàn)對表面污染物的清除，這就是激光清洗，它以自身的許多優(yōu)點(diǎn)在許多領(lǐng)域中逐步取代傳統(tǒng)清洗工藝，展示了廣闊的發(fā)展前景。

激光具有強(qiáng)度高 、能量密度大 、聚焦性強(qiáng) 、方向性好的特點(diǎn) ，激光清洗技術(shù)是利用激光脈沖的振動 、粒子的熱膨脹 、分子的光分解或相變?nèi)N作用或它們的聯(lián)合作用克服污物與基體表面之間的結(jié)合力 ， 使污物脫離表面而達(dá)到清洗的目的。

人工操作操作簡單，手持或自動化工序流程復(fù)雜，對操作人員要求高，需作污染防護(hù)措施耗費(fèi)人工人力很辛苦， 需做污染防護(hù)措施操作簡單，手持或自動化操作簡單，但需要人工添加耗材

成本投入首次投入高，無耗材， 維護(hù)成本低首次投入低，耗材成本極高首次投入高，耗材人工成本低首次投入中等耗材成本高首次投入低，耗材成本中等系統(tǒng)原理

脈沖激光器發(fā)生高能脈沖激光，并通過光纖傳導(dǎo)至整形模塊，由單軸或雙軸掃描振鏡反射后照射到工件表面的污垢層，對工件表面的銹、油漆、油污、氧化皮、鍍層等附著層產(chǎn)生汽化、光剝離、光分解、光振動后實(shí)現(xiàn)清洗的目的。國外各種激光清洗機(jī)已經(jīng)相繼問世，并且已經(jīng)用于很多領(lǐng)域。激光清洗已經(jīng)從單一的清除硅片掩模表面微粒發(fā)展到各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域；可以清除的污物大到油漆等片狀物小到納米量級的微小顆粒；可以清洗污物的種類也是十分廣泛，從無機(jī)物到有機(jī)物，從透明物到不透明物質(zhì)，甚至用于放射性污染的清除。

在國內(nèi)，由于對環(huán)境保護(hù)和對激光技術(shù)的認(rèn)識不足，以及對一次性投入較高的擔(dān)憂，激光清洗的工業(yè)應(yīng)用還較少?？梢灶A(yù)見，隨著激光技術(shù)的發(fā)展，激光成本的下降，激光清洗技術(shù)應(yīng)用會更加廣泛。