為光伏、醫(yī)療設(shè)備和電子產(chǎn)品市場(chǎng)提供激光微加工和卷對(duì)卷激光系統(tǒng)的德國公司3D-Micromac已經(jīng)在江蘇啟東的韓華新能源生產(chǎn)基地安裝了三款microCELL OTF激光系統(tǒng)。 安裝完成后，韓華新能源訂購了第四套激光系統(tǒng)，以支持將鋁背表面場(chǎng)（Al-BSF）技術(shù)生產(chǎn)轉(zhuǎn)化為高效鈍化發(fā)射極后接觸（PERC）太陽能電池。

與標(biāo)準(zhǔn)太陽能電池相比，PERC太陽能電池具有顯著提高能效水平的潛力。PERC太陽能電池的制造過程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟是激光接觸開口（LCO），其中使用激光燒蝕來在太陽能電池的背面上穿透薄的鈍化層。該過程減少了電池中的電損耗，導(dǎo)致大約1％（絕對(duì)）更高的轉(zhuǎn)換效率。

相比常規(guī)的太陽能電池，PERC太陽能電池能非常顯著提供更高水平的能量效率

與標(biāo)準(zhǔn)太陽能電池相比，鈍化發(fā)射極后接觸（PERC）太陽能電池可以提供顯著更高水平的能量效率。

microCELL OTF激光平臺(tái)采用了即時(shí)技術(shù)，一種當(dāng)晶圓在機(jī)器上連續(xù)運(yùn)動(dòng)的過程中進(jìn)行的激光工藝，通過消除運(yùn)動(dòng)的死循環(huán)來提高吞吐量。該系統(tǒng)的單通道系統(tǒng)達(dá)到每小時(shí)4000片（Wph）以上的吞吐量值，雙通道系統(tǒng)達(dá)到8000Wph以上。

該系統(tǒng)還提供非接觸式晶圓處理，在處理過程中將晶圓保持在氣墊上，以減少或消除表面缺陷和微裂紋，而實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量最大化。另一方面，機(jī)械晶片處理可能增加表面缺陷和微裂紋發(fā)生的可能性，這可能導(dǎo)致在隨后的處理步驟中額外的晶片損壞。

“中國市場(chǎng)的競爭十分激烈，尤其是價(jià)格上的競爭異常激烈，”3D-Micromac的CEO Tino Petsch說道。“通過提供高品質(zhì)和高產(chǎn)量，以及通過我們激光系統(tǒng)中最高的吞吐量值進(jìn)行成本稀釋，我們成功的成為韓華中國太陽能電池制造工廠技術(shù)轉(zhuǎn)換的首選。”

3D-Micromac的系統(tǒng)跟服務(wù)目前已經(jīng)在世界上被各種高科技行業(yè)所應(yīng)用。