微米制造中熱量問題的一個解決方案是超快激光技術(shù)，該技術(shù)具備獨特的革命性功能，能夠冷燒蝕任何材料，無論是金屬、絕緣體還是聚合物。為了理解超快技術(shù)為何能帶來如此徹底的進步，有必要詳細介紹該技術(shù)與連續(xù)波(CW)、長脈沖（皮秒及更長）激光技術(shù)之間的根本性差異。連續(xù)波激光通過熱力學過程進行燒蝕，通過相變或燃燒，對目標晶格進行局部加熱。飛秒級脈沖激光則在700至800飛秒脈沖里釋放數(shù)十微焦的能量。而超快激光聚焦的光斑尺寸范圍為30微米至衍射極限，將產(chǎn)生非常高的光強。伴隨高光強的是能夠引發(fā)目標多光子電離化的電場。光致電離將導致等離子體形成，緊接著是目標離子的靜電放射。

不過，僅僅將目標離子化是不夠的。包括離子化、等離子體形成和庫侖爆炸的全部過程所需的時間，必須小于熱量擴散至被燒蝕材料體積所需的時間。簡而言之，超快激光的每一脈沖清除材料塊的速度必須快于熱量由當前位置擴散至相鄰材料的速度，有點像三張紙牌游戲。不過，就像人行道上的紙牌游戲一樣，這不是魔術(shù)竅門，僅僅是甲比乙移動更快的例子。