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機(jī)型特點
可進(jìn)行曲線及直線圖形切割,性能穩(wěn)定可靠等優(yōu)點。
適用材料和行業(yè)應(yīng)用
* 主要用于金屬材料及硅、鍺、砷化鎵和其他半導(dǎo)體襯底材料的劃片和切割,可加工
太陽能電池板、硅片、陶瓷片、鋁箔片等。
* 一體化結(jié)構(gòu),占地面積小,光束質(zhì)量好,軟件功能強(qiáng),整機(jī)運(yùn)行穩(wěn)定可靠,操作簡
單,切割效率高,適合大批量加工。
技術(shù)參數(shù)
* 激光工作介質(zhì) : Nd:YAG
* 激光波長 : 1.064μm
* 激光功率 : 100W(燈泵浦)
* 激光功率不穩(wěn)定度 : ≤3%
* 調(diào)制頻率 : 500Hz-50KHz
* 出光方式 : 連續(xù)激光調(diào)Q
* 切割速度 : 15-100mm/s(視材料而定)
* 重復(fù)精度 : 0.002mm
* 切割范圍 : 180mmX180mm
* 最大切割深度 : #p#分頁標(biāo)題#e#1.5mm(單晶硅)
* 切割線寬 : 0.02-0.2mm(視材料可調(diào))
*
X、Y工作臺行程:
200mmX200mm* 供電電源 : AC380V±10%,50Hz
* 輸入功率 : ≤5KW
* 冷卻系統(tǒng) : 制冷機(jī)組
* 內(nèi)循環(huán)介質(zhì) : 去離子水,蒸餾水或純凈水
* 安全性 : 過流保護(hù)、過溫保護(hù)、過壓保護(hù)
* 激光器連續(xù)工作時間 : ≤16H
* 重量 : 240Kg
* 外型尺寸 : 900mmX1300mmX1400mm
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