在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)中,電阻的調(diào)校是一項關(guān)鍵技術(shù),它直接影響器件的性能和應(yīng)用效果。
MEMS器件設(shè)計中常常需要用到具有可變阻值的電阻,這在板級電路中通常是通過電位器進(jìn)行調(diào)整,但在更高精度的芯片級薄膜電阻和板級厚膜電阻領(lǐng)域,如何實現(xiàn)電阻值的精確修調(diào)就顯得尤為重要。
激光調(diào)阻,作為精校電阻值的先進(jìn)技術(shù),通過使用微小的激光束照射在片式電阻上,去除部分電阻材料以改變其阻值,實現(xiàn)精確的電阻值控制。這種方法允許制造商在電阻體上實施精細(xì)的調(diào)整,調(diào)阻過程受到計算機(jī)控制,可以實現(xiàn)高度準(zhǔn)確的電阻值目標(biāo)。 激光調(diào)阻技術(shù)不僅在MEMS領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,也常見于通信、醫(yī)學(xué)、材料加工、科研、軍事和工業(yè)等多個領(lǐng)域。根據(jù)激光調(diào)阻的對象不同,市場上主要有三種類型的激光調(diào)阻機(jī):厚膜、薄膜和超低阻激光調(diào)阻機(jī)。 厚膜激光調(diào)阻機(jī)主要用于調(diào)整基于厚膜制程制造的片式電阻,這類電阻的制造精度相對較低,因此激光束的直徑通常較大,主要通過改變電阻形狀來調(diào)整阻值。 另一方面,薄膜激光調(diào)阻機(jī)則適合調(diào)整較為精細(xì)的片式薄膜電阻,其線寬較小,激光束直徑可以小至幾微米,通常通過切斷并聯(lián)的電阻線來實現(xiàn)調(diào)校。而超低阻激光調(diào)阻機(jī)則主要用于調(diào)整極低電阻值的合金片式電阻,應(yīng)用于需要超低阻值的精密電路中。
激光調(diào)阻的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在以下幾個方面: 修調(diào)精度:激光調(diào)阻可以精確定制至預(yù)設(shè)阻值,對不同初始值的電阻進(jìn)行統(tǒng)一調(diào)校,或是將電子模塊的輸出值調(diào)整至所需的準(zhǔn)確電壓。 速度:與手工更換電阻或電位器調(diào)校相比,激光調(diào)阻具備更快的處理速度,這在批量生產(chǎn)中可以大幅提高效率。 支持微型化:隨著電子產(chǎn)品向高度微型化發(fā)展,傳統(tǒng)方法難以滿足生產(chǎn)需求,而激光調(diào)阻可實現(xiàn)微觀級別的調(diào)校。 自動化測試:現(xiàn)代激光調(diào)阻機(jī)不僅僅是調(diào)校工具,也是一個多功能測試平臺,能夠進(jìn)行自動化測試、篩選、數(shù)據(jù)分析等工作。 可靠性和自動化程度:專用的激光器保證了調(diào)阻后的穩(wěn)定性和精確度,且可以配合自動上下料機(jī)制實現(xiàn)全自動化調(diào)校流程。 芯云納米技術(shù)(蘇州)有限公司在這一領(lǐng)域具有強(qiáng)大的技術(shù)實力。公司專注于MEMS器件設(shè)計與加工,擁有豐富的MEMS相關(guān)研究和生產(chǎn)經(jīng)驗。該公司不僅提供MEMS器件的設(shè)計與制造服務(wù),還能夠提供器件仿真、工藝驗證以及封裝測試等一系列的解決方案。 在MEMS領(lǐng)域,精確的電阻調(diào)校是實現(xiàn)高性能產(chǎn)品的關(guān)鍵一環(huán)。激光調(diào)阻技術(shù)的應(yīng)用,使得在MEMS器件中實現(xiàn)精確、快速和自動化的電阻值調(diào)整成為可能。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和創(chuàng)新,激光調(diào)阻技術(shù)仍然在不斷發(fā)展,預(yù)計在未來將有更加廣泛的應(yīng)用前景。
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