理光工業(yè)解決方案公司（RICOH Industrial Solutions，總部：橫濱市）將于2016年2月29日開始銷售超短光纖激光器“RICOH SU-1020”。該產(chǎn)品采用直接調(diào)制方式的初始光源，能夠改變脈沖寬度和反復(fù)頻率?？蓱?yīng)用于多種加工用途，包括薄膜太陽(yáng)能電池單元等的圖案形成加工、平板顯示器用玻璃等的切割加工、微細(xì)光學(xué)元件模型等的微細(xì)加工等。
激光波長(zhǎng)為1064±3nm，平均輸出功率最大16W。據(jù)介紹，在10W以上光纖激光器中，這是業(yè)內(nèi)首款采用直接調(diào)制方式的。脈沖寬度可在50ps～9ns的范圍內(nèi)任意設(shè)定，反復(fù)頻率可在200kHz～4MHz的范圍內(nèi)任意設(shè)定。這樣便可充分利用熱加工的加工性優(yōu)點(diǎn)及非熱加工的高加工品質(zhì)優(yōu)點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)融合兩方面優(yōu)點(diǎn)的復(fù)合加工。
脈沖能量在2MHz（8W）下為4μJ/100ps、在200kHz（8W）下為40μJ/1ns。峰值功率最大為41kW。如果調(diào)整脈沖能量，還可將利用光熱作用急劇加熱加工對(duì)象物使之氣化的熱熔融加工，與瞬間照射高峰值功率光束以破壞原子間鍵合的消融加工相組合，輕松設(shè)定最優(yōu)加工條件。
另外，該激光器還可防止對(duì)加工部周圍造成熱損傷，也是其優(yōu)點(diǎn)之一。這得益于最短脈沖寬度縮短到了比熱擴(kuò)散時(shí)間更短的50ps。在微細(xì)加工中，可減少基材變焦、變質(zhì)、變形的情況。另外，如果設(shè)定對(duì)主振蕩器產(chǎn)生的脈沖串實(shí)施間歇驅(qū)動(dòng)的“猝發(fā)門控（Burst Gate）振蕩模式”，還可降低因空間性脈沖重疊導(dǎo)致的熱量積蓄，提高非熱加工性能。
輸出光束直徑為1mm。在以光纖放大器為基礎(chǔ)的同時(shí)使用混合激光器技術(shù)，可輕松聚斂光束。據(jù)介紹，能夠以數(shù)μm級(jí)別實(shí)現(xiàn)反復(fù)再現(xiàn)性高的微細(xì)加工。
另外，該激光器采用將激光頭從脈沖引擎部分分離出來的設(shè)計(jì)，可輕松配備到可動(dòng)載物臺(tái)及機(jī)器手上。外形尺寸方面，脈沖引擎部分為寬480×進(jìn)深504×高199mm，激光頭部分為寬38×進(jìn)深45×高250mm。
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