日本半導(dǎo)體曝光設(shè)備用光源領(lǐng)域的大型廠商Gigaphoton稱其EUV光源掃描儀實(shí)現(xiàn)了連續(xù)運(yùn)行和穩(wěn)定發(fā)射：激光驅(qū)動(dòng)等離子光源原型實(shí)現(xiàn)了輸出達(dá)108W，平均能量穩(wěn)定性為0.5%的結(jié)果。
Gigaphoton副總裁兼首席技術(shù)官Hakaru Mizoguchi表示：“我們成功研發(fā)出持續(xù)運(yùn)作24小時(shí)、輸出達(dá)108W的EUV光源掃描儀，說明了我們正在接近完成低成本、高輸出穩(wěn)定運(yùn)行的EUV光源的研發(fā)；而這也正是半導(dǎo)體廠商所需要的。”
這一成果建立在一些關(guān)鍵技術(shù)基礎(chǔ)上：例如能生成直徑為20微米或更小錫滴的液滴生成器、固態(tài)預(yù)脈沖及主脈沖CO2激光器以及采用磁場與能量控制技術(shù)的碎片減緩技術(shù)等。
位于日本筑波的超紫外光刻基礎(chǔ)設(shè)施研發(fā)中心（EIDEC）也在使用Gigaphoton公司的EUV光源。
Gigaphoton公司計(jì)劃在2015年底研發(fā)出250W級別高輸出實(shí)驗(yàn)裝置，這也是內(nèi)存儲(chǔ)設(shè)備量產(chǎn)所需的技術(shù)。
Mizoguchi表示：“我可以肯定的是當(dāng)我們將該技術(shù)推向市場的時(shí)候，也就是下一代曝光技術(shù)出現(xiàn)的時(shí)候；同時(shí)我也相信將極大地改善半導(dǎo)體的性能，并作為支持信息技術(shù)的核心技術(shù)為行業(yè)的發(fā)展帶來劃時(shí)代的貢獻(xiàn)。”
轉(zhuǎn)載請注明出處。
相關(guān)文章
熱門資訊
精彩導(dǎo)讀
關(guān)注我們
