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氣體

常見(jiàn)高純氣體的用途和分類

星之球激光 來(lái)源:科的氣體2011-10-28 我要評(píng)論(0 )   

高純氣體(High Purity Gases)氣體工業(yè)名詞,通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,例如對(duì)于氫,氮,氦,氬而言,通常...

 高純氣體(High Purity Gases)氣體工業(yè)名詞,通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,例如對(duì)于氫,氮,氦,氬而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對(duì)于氧氣,純度為99.199%即可稱高純氧;對(duì)于碳?xì)浠衔?,純度?9199%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬,在半導(dǎo)體工業(yè),高純氮,氫,氬,氦可作為運(yùn)載氣,保護(hù)氣和配制混合氣的底氣。

 

  高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體,和無(wú)機(jī)高純氣體。

有機(jī)高純氣體

1、烷烴類:
  甲烷(CH4)、乙烷(C2H6)、丙烷(C3H8)、環(huán)丙烷(cyc-C3H6)、正丁烷(n-C4H10)、異丁烷(i-C4H10)、正戊烷(n-C5H12)、新戊烷(neo-C5H12)、氯甲烷(CH3Cl)、氯乙烷(C2H5Cl)、三氟甲烷(CHF3)、環(huán)氧乙烷(C2H4O)、砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)、硼烷(B2H6)、硅烷(SiH4)等;
2、烯烴類:
  乙烯(C2H4)、丙烯(C3H6)、丙二烯(C3H4==)、1-丁烯(1-C4H8)、異丁烯(i-C4H8)、反-2-丁烯(t-2-C4H8)、順-2-丁烯(c-2-C4H8)、1.2-丁二烯(1.2-C4H6)、1.3-丁二烯(1.3-C4H6)、氯乙烯(C2H3Cl)等;
3、炔烴類:
  乙炔(C2H2)、1-丁炔(1-C4H6)、2-丁炔(2-C4H6)、甲基乙炔(C3H4)、乙烯基乙炔(C4H4=≡)等;
4、其他:
  二甲醚(C2H6O)、甲硫醇(CH4S)、熏蒸劑(C2H4O-CO2)等

 無(wú)機(jī)高純氣體
  1、空氣(Air)、氫氣(H2)、氧氣(O2)、氮?dú)猓∟2)、氬氣(Ar)、氦氣(He)、氖氣(Ne)、氪氣(Kr)、氙氣(Xe)等;   

      2、氨氣(NH3)、氯氣(Cl2)、二氧化硫(SO2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、二氧化氮(NO2)、氧化亞氮(N2O)、氧硫化碳(COS)、氯化氫(HCl)、溴化氫(HBr)、硫化氫(H2S)等;   

     3、三氟化硼(BF3)、三氯化硼(BCl3)、四氟化碳(CF4)、四氟化硅(SiF4)、 四氯化硅(SiCl4)、六氟化硫(SF6)等

高純氣體產(chǎn)品的分類
    目前, 國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的氣體產(chǎn)品按其用途可進(jìn)行如下分類:
 1、一般工業(yè)用氣。包括工業(yè)氫氣、工業(yè)氮?dú)獾取?/span>
 2 、醫(yī)療用氣。包括醫(yī)用氧氣、麻醉氣等。
 3、食品工業(yè)用氣。如液體二氧化碳。
 4、 民用燃?xì)?。如天然? 液化石油氣等。
 5、電子工業(yè)用氣。如硅烷、磷烷等。
 6、儀器儀表用氣。如標(biāo)準(zhǔn)氣、色譜載氣等。
 7、其它特殊用途用氣。
    一般情況下, 1~4 類氣體產(chǎn)品的市場(chǎng)需求量很大, 而純度要求不是很高, 主體成分含量通常在9915% 以下。
5~ 7 類氣體即所謂的特種氣體, 其特點(diǎn)是品種繁多, 市場(chǎng)需求量較小, 純度要求高, 對(duì)其所含的雜質(zhì)的種類和數(shù)量有著嚴(yán)格
的限定。
    不同類別的同一種氣體, 質(zhì)量要求差異很大。

序號(hào)

氣體名稱

純度/%

主要用途

 

氮?dú)釴2?

≥99.99???

 

化工、冶金、電子工業(yè)?

 

1#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#

純氬Ar

≥99.99

冶煉、切割、焊接、電子工業(yè)

2

高純氬Ar

≥99.999

電子管、特種燈泡、真空技術(shù)

3

純氦He?

 

≥99.99?

 

電子工業(yè)、潛水呼吸?

 

4

高純氮N2

≥99.999

科研、電子、機(jī)械行業(yè)、色譜儀、載氣

5

純氫H2

≥99.99

金屬冶煉、焊接、國(guó)防工業(yè)

6#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#

高純氫H2

≥99.999

電子工業(yè)、石油化工、色譜儀、載氣

8

高純氦氣He

≥99.999

色譜儀載氣、電子工業(yè)等

9

工業(yè)氧O2

≥99

鋼材焊接、火焰加工

10

高純氧O2

≥99.95

標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備、集成電路、科學(xué)研究

11

工業(yè)氫H2

≥99

石油、油脂加氫、人造寶石、石英玻璃制造、金屬切割

12#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#

純氙Xe

≥99.99

電光源工業(yè)、醫(yī)療、電真空、激光行業(yè)

13

高純氙Xe

≥99.999

14

純氪Kr

≥99.99

電光源工業(yè)、電真空工業(yè)

15

高純氪Kr

≥99.999

16

純氖Ne

≥99.99

電光源工業(yè)

17

液體二氧化碳CO2

≥99.9

化工、焊接、制冷、化纖、農(nóng)業(yè)、食品添加劑

18#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#

高純二氧化碳CO2

≥99.999

標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備

 

一氧化碳CO? ≥99.9? 金屬冶煉、滲碳、標(biāo)準(zhǔn)氣及混合氣制備?

20

硫化氫H2S

≥99.9

標(biāo)準(zhǔn)氣制備、等離子干刻

22

甲烷CH4

≥99.9

低溫液體洗滌劑標(biāo)準(zhǔn)氣及混合氣制備

23

乙炔C2H2

≥99

金屬焊接、切割、加熱燃料、有機(jī)產(chǎn)品原料

24#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#

丙烷C3H8

≥99.9

石油化工、醫(yī)學(xué)檢驗(yàn)、標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備

25

乙烯C2H4

≥99.9

乙烯、丙烯成分分析標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備

26

丙烯C3H6

≥99.9

化工合成、焊接、燃燒等

27

乙硼烷B2H6

≥99.995

半導(dǎo)體器件制造中的重要P型摻雜源

28

磷烷PH3

≥99.999

半導(dǎo)體器件制造中的重要N型摻雜源

29#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#

砷烷AsH3

≥99.999

N型摻雜劑

30

硅烷SiH4

≥99.999

用于制備高純多晶硅



 

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