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【摘要】飛秒激光微加工技術(shù)具有加工精度高、熱效應(yīng)小、損傷閾值低以及能夠?qū)崿F(xiàn)真正的三維微結(jié)構(gòu)加工等優(yōu)點(diǎn),這些特性是傳統(tǒng)的激光加工技術(shù)所無法取代的。首先回顧了激光微加工和超短脈沖激光技術(shù)的發(fā)展歷史,然后介紹超短脈沖激光與金屬和介質(zhì)材料相互作用的機(jī)制,接著闡述了飛秒激光直寫、干涉和投影制備等各種加工方法的原理,重點(diǎn)討論飛秒激光在三維光子器件集成、微流體芯片制備及其在生化傳感方面的應(yīng)用等,最后展望了飛秒激光微加工領(lǐng)域所面臨的機(jī)遇和挑戰(zhàn),指出了未來的研究方向。更多還原

【關(guān)鍵詞】超快光學(xué)；飛秒激光；光與物質(zhì)相互作用；微加工；集成光學(xué)；雙光子聚合；微流體；納米顆粒；

飛秒激光發(fā)展

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飛秒激光微加工_激光精密加工領(lǐng)域的新前沿