激光調(diào)阻機(jī)是一種精密的激光微調(diào)設(shè)備,它通過(guò)短脈沖激光掃描,改變電阻體的導(dǎo)電截面積,達(dá)到把低于目標(biāo)阻值的電阻體修調(diào)到阻值允許的偏差范圍內(nèi),適用于片狀電阻的快速大規(guī)模生產(chǎn)。它的主要構(gòu)成為:一臺(tái)輸出脈沖頻率可調(diào)的調(diào)Q脈沖Nd:YAG激光器, 輸出波長(zhǎng)為1.06μm激光,經(jīng)兩軸偏轉(zhuǎn)后,由光學(xué)系統(tǒng)匯聚成25μm直徑的光斑,照射到載臺(tái)上的片式電阻基片上?;娮铦{料層受激光加熱氣化,形成一定深度的刻痕,從而改變了電阻體的導(dǎo)電截面積和導(dǎo)電長(zhǎng)度。
高速高精度在線(xiàn)電阻測(cè)量系統(tǒng),測(cè)量電阻器的阻值,當(dāng)阻值達(dá)到標(biāo)稱(chēng)值時(shí),由電控開(kāi)關(guān)關(guān)斷激光,完成此片式電阻的修整過(guò)程,全過(guò)程用時(shí)5-20ms。由一臺(tái)X-Y方向激光掃描振鏡完成一行電阻器的修調(diào)。然后,運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)載片臺(tái)向前運(yùn)動(dòng)一個(gè)行距的位置,重復(fù)上述過(guò)程完成第二行調(diào)阻,依此類(lèi)推,直至調(diào)完一片。所有上述工作在一臺(tái)計(jì)算機(jī)統(tǒng)一控制下,協(xié)調(diào)高效地進(jìn)行。
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