從目前機(jī)械加工的工藝水平來(lái)看,超精密加工一般指加工精度<0.3μm,表面粗糙度Ra值<0.03μm的加工。
同時(shí)也包含加工尺寸在微米級(jí)的微細(xì)加工。
精密、超精密加工是個(gè)相對(duì)概念,而且隨著工藝水平的普遍提高,不同年代有著不同的劃分界限,
但并無(wú)嚴(yán)格統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,特別是許多高新科技的發(fā)展,使超精密加工的市場(chǎng)需求呈現(xiàn)出如下的特點(diǎn):
要求超精密加工的機(jī)電產(chǎn)品元器件越來(lái)越多,不僅有傳統(tǒng)的光學(xué)零件、超精密加工塊規(guī)等,
而且有現(xiàn)代IT中廣泛采用之大規(guī)模集成電路的各種芯片,
計(jì)算機(jī)用的磁盤(pán)、光盤(pán),復(fù)印機(jī)用的磁鼓;核聚變用的激光反射鏡;導(dǎo)彈制導(dǎo)系統(tǒng)用的激光反射鏡;
導(dǎo)航用的陀螺儀腔體;氣浮和靜電陀螺儀的球狀支承;
造衛(wèi)星姿態(tài)控制用的過(guò)半球體;衛(wèi)星、航天器上各種儀器儀表用的真空無(wú)潤(rùn)滑軸承;
全球定位系統(tǒng)(GPS)和電子對(duì)抗技術(shù)中用的砷化鎵半導(dǎo)體大規(guī)模集成電路;
紅外夜視設(shè)備、大型天文望遠(yuǎn)鏡和太空望遠(yuǎn)鏡中用的球面和非球面光學(xué)透鏡,以及多種軍、
民使用的高新科技產(chǎn)品中的精密零部件等。
相同品名的元器件要求超精密加工的數(shù)量越來(lái)越大。例如有些品名,以前只是單件或小批生產(chǎn),
用于實(shí)驗(yàn)性的產(chǎn)品上,現(xiàn)在則要求批量乃至大批量規(guī)模生產(chǎn),
用在軍、民使用的高新科技產(chǎn)品上,如大規(guī)模集成電路用的硅片、磁盤(pán)、磁鼓等,
年需求量數(shù)以百萬(wàn)、千萬(wàn)件計(jì)。
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