想要經(jīng)濟地處理能源和資源問題，機床和設(shè)備就必須在連續(xù)的使用過程中被監(jiān)控。為此，一種易于集成的傳感器技術(shù)便成為及時進行機床和設(shè)備維護保養(yǎng)，保證產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量，避免停機故障和改善生產(chǎn)過程穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。

　　高精度的生產(chǎn)過程監(jiān)控需要直接來自生產(chǎn)過程的數(shù)據(jù)作為保障，這些數(shù)據(jù)應(yīng)該由那些安裝在機床設(shè)備上的傳感器來提供。而負責(zé)這種檢測監(jiān)控任務(wù)的傳感器大多數(shù)都是光纖傳感器，即有著極高檢測精度得微型化光纖傳感器，使其能夠方便得集成在機床、設(shè)備和檢測儀器中，能夠很好得完成監(jiān)控和數(shù)據(jù)傳輸?shù)娜蝿?wù)。 

基于光纖的光纜外徑只有0.4～3mm的傳感器適合在高精度的機床加工中使用

　　利用由Fraunhofer IPT研究所研發(fā)設(shè)計的間距檢測傳感器，能夠在多個不同的檢測位置同時完成對被加工零件的形狀和位置誤差的納米級精度檢測。這種技術(shù)在航空航天、汽車制造、印刷機械制造和光學(xué)設(shè)備制造領(lǐng)域中都能夠得到很好的應(yīng)用。

　　這種檢測技術(shù)適合于那些傳統(tǒng)檢測解決方案因安裝使用空間有限，以及傳統(tǒng)檢測技術(shù)無法滿足檢測精度的場合。這種傳感器的檢測頻率很高，檢測誤差明顯的小于高精度檢測儀，能夠?qū)崿F(xiàn)機床和設(shè)備在超精密級范圍內(nèi)的在線檢測，如機床運動軸和導(dǎo)軌移動的監(jiān)控以及傳動軸的監(jiān)控。

　　Fraunhofer研究所研發(fā)的這種檢測系統(tǒng)基于短波激光干涉原理，主要由兩個相干性激光部件組成。其中的第一個是純光學(xué)的全光纖技術(shù)元件（SLD1），第二個則是Michelson激光干涉器（SLD2）。這種檢測儀器的檢測距離大約為500μm，清晰度達1nm的檢測范圍約80μm。 

　　Fraunhofer IPT研究所研發(fā)的這個系統(tǒng)是基于激光短相干的工作原理，其主要部件為兩個相干性激光部件單元，其中的第一個是純光學(xué)的全光纖技術(shù)元件（SLD1），第二個則是Michelson激光干涉器（SLD2）這種傳感器用光波電纜（LWL）連接，電纜的外徑尺寸為0.4～3mm。對于剛性要求較高的傳感器，可以將其安裝在CFK或鎳鈦復(fù)合材料的金屬殼中。

　　最后，將兩種信號在Michelson干涉器中進行解碼。微型傳感器和檢測裝置集式在一起而檢測結(jié)果的最終評判裝置無需安裝在檢測現(xiàn)場。另外，這種檢測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)還允許在一個檢測評判單元中使用多個檢測傳感器。利用光纖轉(zhuǎn)換開關(guān)可以快捷方便地在各個傳感器之間進行切換。

　　由此在Michelson干涉器中而得到的光柵圖將用CCD電荷耦合式攝像機進行解碼，利用計算機進行下一步的數(shù)據(jù)處理。檢測間距和檢測范圍取決于傳感器信號（焦距）和折光鏡的角度以及其與激光射束之間的間距。與其他的檢測系統(tǒng)相比較，這種檢測系統(tǒng)的優(yōu)點在于它沒有類似于線性調(diào)節(jié)器或壓電發(fā)生器之類的區(qū)別檔位的機械零部件。

CCD電荷耦合式攝像機的特性解碼

　　當(dāng)被測物體進入到檢查范圍之內(nèi)后，將會產(chǎn)生一個由CCD電荷耦合式攝像機解碼的固有特征干涉光樣本。利用干涉信號的橫向位置在CCD芯片中對被測物體的間距進行補償，并把間距調(diào)節(jié)量換算成圖像的像素點數(shù)。