光學(xué)計(jì)量?jī)x器從大型精密儀器——三座標(biāo)測(cè)量機(jī)到傳統(tǒng)的自準(zhǔn)直儀和投影儀都已實(shí)現(xiàn)微機(jī)化、光電化：激光技術(shù)的結(jié)合和CCD等光電器件的引入，更為快速、準(zhǔn)確、可靠的在線檢測(cè)和監(jiān)控創(chuàng)造了條件。

未來(lái)10年，高新技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用將進(jìn)一步推動(dòng)光學(xué)儀器實(shí)現(xiàn)光機(jī)電算一體化和智能化?，F(xiàn)今的智能化儀器更確切地應(yīng)稱為“微機(jī)化”儀器。而高程度的智能化是信息技術(shù)的最高層次，應(yīng)包括理解、推理、判斷與分析等一系列功能，是數(shù)值、邏輯與知識(shí)的結(jié)合分析結(jié)果，智能化的標(biāo)志是知識(shí)的表達(dá)與應(yīng)用。電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)和光電器件的不斷發(fā)展和功能的完善，為儀器向更高檔次的智能發(fā)展創(chuàng)造了條件。

未來(lái)10年，光和電的滲透會(huì)進(jìn)一步強(qiáng)化，更多的新技術(shù)、新器件將推廣應(yīng)用，因而在光機(jī)電算一體化的基礎(chǔ)上融入不同原理，派生出新用途的產(chǎn)品，以滿足各領(lǐng)域日益增長(zhǎng)的需求。具有優(yōu)異性能的光電器件和功能材料的開發(fā)和應(yīng)用，將加速現(xiàn)代光學(xué)儀器的發(fā)展。如CCD器件、半導(dǎo)體激光器、光纖傳感器等制造技術(shù)趨于成熟，實(shí)現(xiàn)應(yīng)用已獲突破，顯示了廣泛的應(yīng)用前景。它必將使光學(xué)儀器領(lǐng)域發(fā)生重要變革，推動(dòng)產(chǎn)品向小型化、高分辨、光電化和自動(dòng)化發(fā)展。

未來(lái)的光學(xué)計(jì)量?jī)x器儀表是簡(jiǎn)化設(shè)計(jì)，大量壓縮零部件，提高智能化和便于操作，發(fā)展在線計(jì)量測(cè)試儀器儀表。

利用物理學(xué)新效應(yīng)和高新技術(shù)及其成就開發(fā)新型計(jì)量測(cè)試儀器儀表和新型高靈敏度、高穩(wěn)定性、強(qiáng)抗干擾能力的新型傳感器技術(shù)。如：利用高溫超導(dǎo)量子干涉器(SGUID)開發(fā)計(jì)量測(cè)試儀器、物理學(xué)測(cè)試儀器、地學(xué)和地質(zhì)學(xué)儀器、化學(xué)分析儀器、醫(yī)學(xué)儀器、無(wú)損材料檢驗(yàn)儀器等。利用橢偏技術(shù)來(lái)檢測(cè)光纖、光學(xué)玻璃等，這是大家所共知的，它與近場(chǎng)光學(xué)相結(jié)合，不僅可以測(cè)量表面精細(xì)結(jié)構(gòu)，同時(shí)根據(jù)近場(chǎng)光學(xué)反射偏振信息可以分辨出被測(cè)物體的材料，這是目前實(shí)驗(yàn)研究的新探索。