今朝SPI公司的產(chǎn)物重要分為連續(xù)光纖激光器和脈沖光纖激光器兩大類。連續(xù)光纖激光器
包含25~400W系列產(chǎn)物,脈沖光纖激光器包含10~40W系列產(chǎn)物。連續(xù)光纖激光器重要用于硅
片切割;脈沖光纖激光器重要用于硅片劃刻、打孔和打標(biāo)等。
G3脈沖激光器——與基于Q開關(guān)技能的光纖激光器分歧的是,SPI公司的10~40WG3(第三
代)脈沖激光器采納主振蕩功率放大(MOPA)技能,因?yàn)槠漭斎腩l次是由種子光的頻次決議的
,而種子激光的頻次可經(jīng)由過程電調(diào)制的方法直接節(jié)制,是以該激光用具有連續(xù)輸入(當(dāng)種子光的
輸入為連續(xù)輸入時(shí))和脈沖輸入(當(dāng)種子光的輸入為脈沖輸入時(shí))兩種操縱形式。在脈沖模
式下,40W脈沖激光重視頻次范疇為1~500kHz,峰值功率可達(dá)20kW,單脈沖能量可達(dá)1.25mJ,
脈沖寬度可達(dá)10nm,而且內(nèi)置25種波形可供抉擇。均勻功率、峰值功率、脈沖頻次和脈沖寬度
等參數(shù)可按照利用需要調(diào)解,從而極大地拓寬了G3激光器在硅片加工范疇的利用范疇,極大地
進(jìn)步了加工服從。
R4連續(xù)激光器體系——SPI公司的連續(xù)激光器包含25~200W風(fēng)冷激連續(xù)光器和100~400W水
冷連續(xù)激光器,最大調(diào)制頻次為100kHz,輸入功率不亂性為±0.5%。
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