閱讀 | 訂閱
閱讀 | 訂閱
深度解讀

南京大學(xué)在柔性襯底上“激光-液滴”自加熱驅(qū)動(dòng)納米線超高速生長集成獲新突破

來源:南京大學(xué)2021-01-06 我要評(píng)論(0 )   

在大面積柔性襯底上直接生長集成高品質(zhì)晶硅納米線溝道是突破高性能柔性電子邏輯、可穿戴傳感和顯示等應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)難點(diǎn)。然而,高品質(zhì)晶體溝道的獲得往往依賴高溫生長...

在大面積柔性襯底上直接生長集成高品質(zhì)晶硅納米線溝道是突破高性能柔性電子邏輯、可穿戴傳感和顯示等應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)難點(diǎn)。然而,高品質(zhì)晶體溝道的獲得往往依賴高溫生長過程(>800 ℃)-- 這恰恰是柔性聚合物襯底(熔點(diǎn)<150 ℃)所無法承受的!

  

  為此,南京大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院余林蔚教授、徐駿教授課題組基于自主創(chuàng)新的平面固-液-固(IPSLS)納米線生長模式(近期工作Refs. 1-4),探索了一種全新的“激光-液滴”自聚焦局域加熱生長策略,突破了傳統(tǒng)環(huán)境加熱技術(shù)的限制,利用柔性聚合物襯底(聚酰亞胺,PI)和金屬銦催化劑顆粒對(duì)特定激光(808 nm)輻照的高選擇性吸收差異,實(shí)現(xiàn)僅在液滴/納米線生長界面附近范圍的高效局部加熱,以驅(qū)動(dòng)晶硅納米線在柔性襯底上的超高速度生長:在不需要環(huán)境加熱的室溫“冷”環(huán)境下,其生長速度可以高達(dá)3.5 μm/s,比傳統(tǒng)加熱方式納米線生長速度提高了3個(gè)數(shù)量級(jí)。

  

  值得一提的是,即便在此高速生長過程中,IPSLS納米線的生長路徑依然可以被精確引導(dǎo)定位,并成功展示了豐富的線形調(diào)控能力。此外,由于納米金屬液滴具有極小的熱熔,通過調(diào)控激光照射時(shí)序,可以對(duì)納米線生長動(dòng)態(tài)過程進(jìn)行前所未有的精確調(diào)控(例如,對(duì)生長液滴實(shí)現(xiàn)瞬間“激活和冷卻”等操作),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)超長納米線的精準(zhǔn)形貌/直徑編碼?;诖思夹g(shù),成功在柔性PI襯底上生長高品質(zhì)納米線溝道,并制備了納米線場效應(yīng)晶體管(FET)器件,其電流開關(guān)比和亞閾值擺幅分別為>104和386 mV/dec。此“激光-液滴”選擇性加熱生長策略有望推廣應(yīng)用于:在各類大面積、低成本柔性襯底上的“冷”環(huán)境中,直接定位生長和集成高品質(zhì)晶硅納米線陣列,為推動(dòng)各種高性能柔性電子器件的規(guī)?;瘧?yīng)用提供關(guān)鍵的材料支撐和全新的技術(shù)路線。

  

  近期該工作以“Superfast Growth Dynamics of High-Quality Silicon Nanowires on Polymer Films via Self-Selected Laser-Droplet-Heating”為題在線發(fā)表在《Nano Letters》上。南京大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院博士生張廷為論文的第一作者,余林蔚教授和劉宗光博士為共同通訊作者。相關(guān)技術(shù)通過與華為終端的項(xiàng)目合作,共同申請(qǐng)了技術(shù)專利。此工作得到了南京大學(xué)陳坤基教授、施毅教授和王軍轉(zhuǎn)副教授的大力支持。該項(xiàng)研究工作受到國家自然科學(xué)基金委、江蘇省杰出青年基金/雙創(chuàng)人才計(jì)劃以及產(chǎn)學(xué)研合作項(xiàng)目的資助,在此表示衷心的感謝!


轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

柔性襯底激光
免責(zé)聲明

① 凡本網(wǎng)未注明其他出處的作品,版權(quán)均屬于激光制造網(wǎng),未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用。獲本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使 用,并注明"來源:激光制造網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)責(zé)任。
② 凡本網(wǎng)注明其他來源的作品及圖片,均轉(zhuǎn)載自其它媒體,轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息,并不代表本媒贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),版權(quán)歸原作者所有,如有侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系我們刪除。
③ 任何單位或個(gè)人認(rèn)為本網(wǎng)內(nèi)容可能涉嫌侵犯其合法權(quán)益,請(qǐng)及時(shí)向本網(wǎng)提出書面權(quán)利通知,并提供身份證明、權(quán)屬證明、具體鏈接(URL)及詳細(xì)侵權(quán)情況證明。本網(wǎng)在收到上述法律文件后,將會(huì)依法盡快移除相關(guān)涉嫌侵權(quán)的內(nèi)容。

相關(guān)文章
網(wǎng)友點(diǎn)評(píng)
0相關(guān)評(píng)論
精彩導(dǎo)讀