大功率激光傳能光纖設(shè)計(jì)方案光纖光譜儀結(jié)構(gòu)緊湊,組成包括入射狹縫、準(zhǔn)直物鏡、光柵、成像反射鏡和陣列探測(cè)器,還包括數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。光信號(hào)經(jīng)入射狹縫投射到準(zhǔn)直物鏡上,將發(fā)散光變成準(zhǔn)平行光反射到光柵上,色散后經(jīng)成像反射鏡將光譜呈在陣列接收器的接收面上,光信號(hào)被轉(zhuǎn)換成電子信號(hào)后,經(jīng)模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換,A/D放大后輸出,最后由軟件系統(tǒng)控制和采集信號(hào),進(jìn)而完成各種光譜信號(hào)測(cè)量分析。這些特點(diǎn)對(duì)于工業(yè)在線(xiàn)光譜應(yīng)用是極其有利的。可以說(shuō),微型光譜儀是光譜測(cè)量技術(shù)從實(shí)驗(yàn)室走向工業(yè)應(yīng)用的里程碑。
激光傳能瑕疵點(diǎn)在經(jīng)過(guò)數(shù)米的減速區(qū)之后,足以被減速,并停留在質(zhì)量觀察板上。報(bào)警采用光譜儀與聲光報(bào)警器協(xié)同工作實(shí)現(xiàn)。
對(duì)于顏色測(cè)量,必須有參考光譜和背景光譜,即對(duì)反射測(cè)量的校準(zhǔn)操作。經(jīng)常校準(zhǔn)能有助于使計(jì)算的顏色結(jié)果更接近于實(shí)際結(jié)果,消除光源、環(huán)境以及其他因素對(duì)測(cè)量的影響。當(dāng)進(jìn)行校準(zhǔn)操作時(shí),需將已知顏色的標(biāo)準(zhǔn)板置于探頭下方,與探頭所呈角度與樣品一致。此時(shí)打開(kāi)光源,確保光源強(qiáng)度不會(huì)使光譜儀飽和,并保存參考光譜(即各波長(zhǎng)上的強(qiáng)度)。然后關(guān)閉光源,此時(shí)光譜將反映暗噪聲和環(huán)境光,將該光譜作為背景光譜也保存下來(lái)。在完成校準(zhǔn)操作后,即可對(duì)樣品進(jìn)行顏色的測(cè)量和計(jì)算了。顏色實(shí)際上是樣品在特定波長(zhǎng)上的光譜強(qiáng)度與標(biāo)準(zhǔn)板在特定波長(zhǎng)上的光譜強(qiáng)度的比值。為消除環(huán)境光和暗噪聲的影響,需要背景光譜也參與計(jì)算。
激光傳能光纖和各種線(xiàn)纜則通過(guò)上進(jìn)線(xiàn)或側(cè)進(jìn)線(xiàn)方式接入機(jī)柜。
最終的人機(jī)接口將安裝在操作員使用的盤(pán)臺(tái)上,該工作站主機(jī)將安裝在盤(pán)臺(tái)內(nèi)部,并通過(guò)屏蔽雙絞線(xiàn)與機(jī)柜內(nèi)的系統(tǒng)服務(wù)器連接。系統(tǒng)服務(wù)器和操作員工作站上會(huì)分別安裝系統(tǒng)軟件的服務(wù)器端和客戶(hù)端,以呈現(xiàn)整卷或整批薄膜產(chǎn)品的質(zhì)量情況。
在軟件模塊上,系統(tǒng)提供的定制軟件功能模塊均運(yùn)行于主控機(jī)的Windows系統(tǒng)上;
調(diào)度模塊:為主程序核心,主要負(fù)責(zé)承擔(dān)各模塊之間的管理及任務(wù)調(diào)度;
通訊模塊:主要負(fù)責(zé)與工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)的通訊,解析通訊命令,并通過(guò)調(diào)度模塊完成相關(guān)任務(wù),如啟動(dòng)測(cè)量過(guò)程,讀取測(cè)量數(shù)據(jù)等;
計(jì)算模塊:計(jì)算光譜數(shù)據(jù),得到LCH顏色值;
底層驅(qū)動(dòng):主要控制光譜儀、光源、電子快門(mén)、傳動(dòng)模塊等硬件設(shè)備;
激光傳能光纖LED芯片測(cè)試機(jī)
由于制作工藝存在尚未解決的技術(shù)困難,所以對(duì)于生產(chǎn)過(guò)程中同一塊外延片不同位置的光電特性是有細(xì)微差別的,呈現(xiàn)出不均勻性。在完成電極和引腳的過(guò)程中也會(huì)存在一定的瑕疵。這些缺陷會(huì)導(dǎo)致在LED產(chǎn)品的發(fā)光強(qiáng)度和顏色,在生產(chǎn)過(guò)程中如果殘次芯片繼續(xù)進(jìn)行加工,會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)過(guò)程中不必要的浪費(fèi)。所以LED芯片測(cè)試機(jī)是LED生產(chǎn)過(guò)程中不可或缺的一個(gè)環(huán)節(jié)。
微型光纖光譜儀主要將輻射光譜、發(fā)光強(qiáng)度、色坐標(biāo)x,y和峰值波長(zhǎng)作為測(cè)量指標(biāo)。
一般檢測(cè)設(shè)備只能對(duì)電氣特性不合格進(jìn)行篩選,微型光纖光譜儀被引入到LED芯片檢測(cè)后,發(fā)光檢測(cè)方面問(wèn)題得到了很好地解決。由于微型光纖光譜儀測(cè)量每顆晶粒的時(shí)間是5-6ms,快于一般測(cè)試機(jī)探針機(jī)械移動(dòng)時(shí)間,因此測(cè)量速度提到提高。
光纖傳能在印刷機(jī)上集成一個(gè)反射光譜的測(cè)量系統(tǒng),對(duì)印刷品的校準(zhǔn)色塊進(jìn)行反射測(cè)量,并通過(guò)相應(yīng)算法將光譜數(shù)據(jù)換算為行業(yè)內(nèi)能夠接受的顏色指標(biāo)。由于印刷中的紙張具有快速移動(dòng)的特性,所以在運(yùn)用中往往會(huì)采用積分球或環(huán)形的反射鏡對(duì)光源進(jìn)行勻化,從而減小檢測(cè)樣品在印刷過(guò)程中的振動(dòng)與傾斜。光譜儀所得光譜數(shù)據(jù)反饋到印刷設(shè)備對(duì)顏色的品控進(jìn)行調(diào)整。
光譜儀自帶可編程邏輯電路,可將復(fù)雜的邏輯關(guān)系寫(xiě)入微型光纖光譜儀中,可以使光譜儀直接與印刷設(shè)備油料控制器對(duì)接,產(chǎn)生在線(xiàn)的閉環(huán)系統(tǒng)。
光譜檢測(cè)
光譜檢測(cè)是科學(xué)工作中應(yīng)用最廣泛的方法,可對(duì)各類(lèi)物質(zhì)進(jìn)行元素的定性分析,由于光譜分析檢測(cè)技術(shù)和光譜儀器具備特有的高靈敏度、高分辨率、高速度、無(wú)損傷、無(wú)污染、抗干擾、可遙測(cè)等優(yōu)點(diǎn)。
光纖傳能中國(guó)臺(tái)灣環(huán)球晶圓于二零一六年十二月晶圓產(chǎn)業(yè)低谷期間收購(gòu)美國(guó)SunEdison半導(dǎo)體,由第六晉升第三名,占比十七%,德國(guó)Siltronic占比十三%,韓國(guó)SKSiltron(原LGSiltron,2017年被SK集團(tuán)收購(gòu))占比9%,與前四大廠商不同,SKSiltron僅供應(yīng)韓國(guó)客戶(hù)。
此外還有法國(guó)Soitec、中國(guó)臺(tái)灣臺(tái)勝科、合晶、嘉晶等企業(yè),份額相對(duì)較小。
各大廠商供應(yīng)晶圓類(lèi)別與尺寸上有所不同,總體來(lái)看前三大廠商產(chǎn)品較為多樣。前三大廠商能夠供應(yīng)Si退火片、SOI晶片,其中僅日本信越能夠供應(yīng)12英寸SOI晶片。
轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。