近期,中科院理化所先進激光技術與應用課題組基于Nd:YAG激光三倍頻產生紫外激光的技術路線,突破了高功率納秒調Q脈沖振蕩、低波前畸變行波放大、紫外強激光薄膜制備、高抗損傷高穩(wěn)定性紫外變頻等系列關鍵技術,研制出百瓦級大能量納秒脈沖紫外固體激光器樣機。
該樣機通過了專家組現(xiàn)場測試,獲得355nm激光平均功率138.8W、單脈沖能量達180mJ、脈沖寬度26.6ns、重復頻率800Hz,連續(xù)工作8h功率不穩(wěn)定度<1.8%,綜合指標達到國內領先、國際先進。該百瓦級大能量納秒脈沖紫外固體激光器在超精密冷加工、激光退火、激光鍍膜、激光摻雜等領域具有重要應用。
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