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技術(shù)前沿

第三代半導(dǎo)體氮化鎵激光器芯片8大核心工藝達(dá)到國(guó)際最高水平

激光制造網(wǎng) 2023-04-19 我要評(píng)論(0 )   

中國(guó)繼“量子芯片”量產(chǎn)后,在氮化鎵芯片技術(shù)上又一個(gè)重大突破。目前,中國(guó)氮化鎵芯片制造技術(shù)已全面打破美日壟斷,躋身全球第三。

中國(guó)繼“量子芯片”量產(chǎn)后,在氮化鎵芯片技術(shù)上又一個(gè)重大突破。目前,中國(guó)氮化鎵芯片制造技術(shù)已全面打破美日壟斷,躋身全球第三。2020年9月,全球最大氮化鎵芯片工廠在蘇州建成投產(chǎn)。2022年2月,中科46 所成功制備出我國(guó)首顆 6 英寸氧化鎵芯片,達(dá)到國(guó)際最高水平。目前,國(guó)內(nèi)的快速充電器普遍用上了氮化鎵芯片。


氮化鎵激光器芯片主要干什么用?

氮化鎵被稱作第三代半導(dǎo)體,是當(dāng)今世界上最具潛力的半導(dǎo)體材料之一,并被預(yù)言將會(huì)在不久的未來(lái)改變世界。

★氮化鎵半導(dǎo)體,自1990年開始常用于發(fā)光二極管。

★2005年12月,德國(guó)半導(dǎo)體公司Infineon生產(chǎn)出世界上第一顆氮化鎵芯片。

★2008年8月,美國(guó)科銳公司(Cree)生產(chǎn)出世界上第一個(gè)商業(yè)化的氮化鎵芯片。

★2014年,日本和美國(guó)教授因發(fā)明藍(lán)光LED而獲得當(dāng)年的諾貝爾物理獎(jiǎng)。

★2017年11月,英諾賽科(珠海)科技有限公司自主研發(fā)的中國(guó)首條8英寸硅基氮化鎵生產(chǎn)線在珠海投產(chǎn)。

★2023年3月,中國(guó)首條氮化鎵激光器芯片生產(chǎn)線在廣西投產(chǎn)。


該氮化鎵激光器目前覆蓋近紫外(375 nm)至綠光(532 nm)的波長(zhǎng)范圍,相比于傳統(tǒng)半導(dǎo)體激光器,氮化鎵激光器具有光譜范圍廣、熱調(diào)制頻率高、穩(wěn)定性好等優(yōu)勢(shì),在照明、顯示、金屬加工、國(guó)防、航天航空、量子通信等領(lǐng)域有廣泛用途。


該技術(shù)來(lái)自北京大學(xué)研發(fā)團(tuán)隊(duì)20多年的刻苦攻關(guān),在數(shù)十項(xiàng)國(guó)家級(jí)和省部級(jí)科研項(xiàng)目的大力支持下,攻克了氮化鎵半導(dǎo)體激光器相關(guān)的主要科學(xué)和技術(shù)問(wèn)題,建立了芯片制備技術(shù)中的8大核心工藝,打破國(guó)外企業(yè)長(zhǎng)期的技術(shù)壟斷,有力實(shí)現(xiàn)“彎道超車”。

中國(guó)第三代半導(dǎo)體氮化鎵芯片打破美日壟斷

2021年,發(fā)展第三代半導(dǎo)體寫入國(guó)家“十四五”規(guī)劃、列為國(guó)家戰(zhàn)略,作為第三代半導(dǎo)體中最有代表性的氮化鎵材料,被廣泛地應(yīng)用于激光顯示、電動(dòng)汽車、5G通訊、航空航天、雷達(dá)等重要領(lǐng)域。

目前,全球氮化鎵芯片生產(chǎn)主要集中在中國(guó)、美國(guó)、日本、韓國(guó)、德國(guó)等國(guó)。其中,中國(guó)的氮化鎵芯片生產(chǎn)企業(yè)快速崛起,在全球市場(chǎng)上份量越來(lái)越重。

從全球?qū)@夹g(shù)申請(qǐng)情況看,目前,全球氮化鎵半導(dǎo)體芯片專利申請(qǐng)的第一大技術(shù)來(lái)源國(guó)是日本,占比高達(dá)33.22%。其次是中國(guó),占比為28.10%。美國(guó)專利申請(qǐng)量排名第三,占比為20.63%。

從專利申請(qǐng)趨勢(shì)上看,中國(guó)在2013—2021年期間一直處于氮化鎵專利申請(qǐng)數(shù)量的領(lǐng)先地位,且優(yōu)勢(shì)較為明顯。

從全球領(lǐng)先的氮化鎵芯片生產(chǎn)廠家看,第一名:日本住友,市場(chǎng)占有率超過(guò)40%;第二名:美國(guó)Cree,市場(chǎng)占有率15%;第三名:德國(guó)英飛凌,市場(chǎng)占有率10%;第四名:韓國(guó)LG,市場(chǎng)占有率6%;第五名:三星,市場(chǎng)占有率為4%。中國(guó)領(lǐng)先的有:華潤(rùn)微、三安光電、士蘭微和聞泰科技等。

未來(lái)氮化鎵芯片會(huì)不會(huì)取代單晶硅芯片?

氮化鎵芯片和單晶硅芯片都有各自的優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用場(chǎng)景。

單晶硅芯片是目前最成熟、最廣泛應(yīng)用的芯片之一,具有低功耗、高穩(wěn)定性和低成本等優(yōu)勢(shì)。

氮化鎵芯片則因其高頻率、高效率和高功率密度等優(yōu)點(diǎn)而備受關(guān)注,尤其在快速充電、射頻功率放大、太陽(yáng)能電池板等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。

因此,氮化鎵芯片和單晶硅芯片都有各自的優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用場(chǎng)景,并不會(huì)互相取代。在未來(lái)的發(fā)展中,兩者有望相互補(bǔ)充,共同推動(dòng)半導(dǎo)體芯片技術(shù)的發(fā)展。


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