3月2日，相干公司舉行了“微電子制造技術(shù)月”主題系列的首場線上活動。活動上，公司向業(yè)界正式推出了MicroLED顯示領(lǐng)域的最新研發(fā)成果——國內(nèi)首臺UVtransfer三合一設(shè)備，并向線上嘉賓作了設(shè)備講解和技術(shù)演示。

據(jù)相干公司銷售及業(yè)務(wù)擴展經(jīng)理李帥介紹，UVtransfer三合一集成式激光系統(tǒng)是相干公司在MicroLED領(lǐng)域帶來的最新研究成果和解決方案。UVtransfer專為MicroLED生產(chǎn)制造設(shè)計，可執(zhí)行三道重要工藝激光剝離（LLO）、巨量轉(zhuǎn)移（LIFT）和激光修復(fù)（Repair）。

UVtransfer技術(shù)誕生于相干公司在德國的紫外激光器和光學(xué)系統(tǒng)研發(fā)中心。該系統(tǒng)的設(shè)計初衷是為了在研發(fā)環(huán)境和試產(chǎn)線中支持基于248nm激光技術(shù)工藝開發(fā)，提供極高的靈活性和精度，并實現(xiàn)高產(chǎn)出和經(jīng)過工業(yè)驗證的可靠性。不久前，公司已經(jīng)將全球第二臺UVtransfer系統(tǒng)安裝在深圳實驗室，并完成了安裝調(diào)試，將為中國本土客戶提供測試和設(shè)計開發(fā)等服務(wù)。

MicroLED有望降低超大顯示屏以及部分小型顯示屏應(yīng)用的成本。在普遍采用MicroLED前，有幾項技術(shù)挑戰(zhàn)需要克服。一是從外延片分離晶粒，二是以微米級的精度和可靠性將晶粒傳送到基板。并且這些工藝必須與維修/更換方案兼容，以解決不可避免的瑕疵晶粒問題。同時，它們必須與自動化兼容并確保高產(chǎn)出。

MicroLED順應(yīng)了微型化趨勢，不需要為減小尺寸而耗費大量成本改進工具。未來MicroLED市場的發(fā)展軌跡逐漸清晰可見，更小的裸芯片、更大的晶圓、更高的容量、更大的屏幕和更低的成本。相干公司憑借在顯示屏制造領(lǐng)域積累的成功經(jīng)驗，為全球眾多客戶提供了合適的激光加工解決方案，其中就包括最新推出的UVtransfer三合一設(shè)備。

UVtransfer是目前少有能夠處理上述三個關(guān)鍵生產(chǎn)步驟的可用系統(tǒng)，每次脈沖可以覆蓋大到16mm×2mm的區(qū)域，從而實現(xiàn)大規(guī)模并行設(shè)備處理。要為大型顯示屏轉(zhuǎn)移數(shù)以億計的顯示裸芯片，并讓這些顯示屏實現(xiàn)經(jīng)濟效益。 

活動最后，相干公司深圳實驗室的工程師為嘉賓們演示操作了UVtransfer三合一設(shè)備，講解了有關(guān)MicroLED的生產(chǎn)過程。