光刻機(jī)大廠阿斯麥爾(ASML)1月3日晚間表示，它在德國柏林的一家工廠發(fā)生了火災(zāi)。不過，過程中說沒有人受傷。至于，現(xiàn)在評估火災(zāi)對其營運的影響狀況還為時過早。

ASML是當(dāng)前所有先進(jìn)半導(dǎo)體芯片制造商的關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商。由于全球半導(dǎo)體芯片目前面臨供應(yīng)短缺的問題，使得該公司目前正在加緊生產(chǎn)設(shè)備當(dāng)中。因此，任何事件造成出貨時間的延遲狀況，都會沖擊到全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中那些企圖擴(kuò)大產(chǎn)能的客戶們。

起火的公司前身是Berliner Glas，是ASML的供應(yīng)商。ASML公司2020年才收購了這家公司，當(dāng)時該公司的年營收約為2.3億歐元。Berliner Glas主要為ASML光刻機(jī)制造光學(xué)系統(tǒng)，這是光刻機(jī)的三大核心部件之一。Berliner Glas 所生產(chǎn)的零組件主要包括晶圓(wafertables)、光罩盤(reticle chucks)、以及反射鏡(mirror blocks) 等產(chǎn)品。 

報道進(jìn)一步指出，ASML對于火災(zāi)的狀況強調(diào)，目前對火災(zāi)損失，或是事件本身是否會對ASML在2022年的生產(chǎn)計劃產(chǎn)生任何影響，其發(fā)表任何聲明都為時過早?，F(xiàn)階段預(yù)估將需要幾天時間來統(tǒng)計損失，其結(jié)果也將盡快向市場發(fā)布最新資訊。不過，ASML的股價，在傳出發(fā)生火災(zāi)之前持續(xù)維持上漲約1%的態(tài)勢。但是，在傳出發(fā)生火災(zāi)事件之后，則是股價下跌約0.3% 幅度，來到每股704.4 歐元的價位。

2021年10月底，ASML發(fā)布了Q3財報，凈銷售額52億歐元（約合386億元），毛利率51.7%，凈利潤17億歐元（約合126億元）。官方預(yù)計四季度銷售額49億到52億歐元，毛利率在51%到52%。

ASML稱，三季度，EUV光刻機(jī)系統(tǒng)的訂單量達(dá)到了29億歐元，且當(dāng)季的出貨量和收入創(chuàng)下歷史新高。目前，ASML主力EUV光刻機(jī)是TWINSCAN NXE:3600D，其在客戶那里也達(dá)到了每小時加工160片晶圓的創(chuàng)紀(jì)錄效率。

DUV（深紫外）光刻機(jī)方面，完成出貨1000臺ArF（氟化氬浸沒式光刻系統(tǒng)），這距離第一臺浸沒式光刻機(jī)（XT:1700Fi）出貨過去了15年。

此外，ASML的第一臺高NA EUV光刻機(jī)預(yù)計將在2023年開放早期訪問，2024年到2025年開放給客戶進(jìn)行研發(fā)并從2025年開始量產(chǎn)。據(jù)悉，相較于當(dāng)前0.33NA的EUV光刻機(jī)，0.55NA有了革命性進(jìn)步，它能允許蝕刻更高分辨率的圖案。分析師Alan Priestley稱，0.55NA光刻機(jī)一臺的價格會高達(dá)3億美元（約合19億元），是當(dāng)前0.33NA的兩倍。