芯東西4月26日?qǐng)?bào)道，上周二，新一期楊瀾訪談錄節(jié)目《逐風(fēng)者》專訪我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的重要領(lǐng)軍人物之一——尹志堯。

尹志堯現(xiàn)年77歲，在技術(shù)及產(chǎn)品的開發(fā)中獲得過400多項(xiàng)各國(guó)專利，被評(píng)價(jià)為“硅谷最有成就的華人之一”。至今，全世界超過一半的刻蝕設(shè)備都有他參與領(lǐng)導(dǎo)和開發(fā)的身影。

從硅谷歸國(guó)的他，人生經(jīng)歷頗有一些傳奇色彩。

尹志堯1944年出生于北京，18歲考入中科大化學(xué)物理系，24歲被分配至蘭州煉油廠，36歲獲北大化學(xué)系碩士學(xué)位，后赴美國(guó)加州洛杉磯分校攻讀物理化學(xué)博士。

2004年，他選擇放棄美國(guó)百萬年薪，帶領(lǐng)著15人小團(tuán)隊(duì)，空手回祖國(guó)創(chuàng)辦中微公司，專注于研發(fā)芯片制造不可或缺的刻蝕設(shè)備。

作為幾代等離子體刻蝕技術(shù)及設(shè)備的主要發(fā)明人和工業(yè)化應(yīng)用的推動(dòng)者之一，尹志堯曾幫助泛林半導(dǎo)體、應(yīng)用材料成為等離子體刻蝕設(shè)備的領(lǐng)先公司。但當(dāng)中微做出自己的首個(gè)刻蝕機(jī)產(chǎn)品時(shí)，卻被尹志堯的美國(guó)老東家告上法庭。

因?yàn)閼岩芍形⒛昧似渖虡I(yè)機(jī)密，美國(guó)應(yīng)用材料、科林半導(dǎo)體接連起訴中微專利侵權(quán)，面對(duì)國(guó)際設(shè)備巨頭屢屢發(fā)難，中微卻從容應(yīng)對(duì)，不僅在每一場(chǎng)專利官司中從未敗陣，而且進(jìn)入了美國(guó)出口控制設(shè)備的白名單。

經(jīng)過十幾年發(fā)展，如今，中微公司已是全球半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備5大供應(yīng)商之一，截至2020年年底已申請(qǐng)1755項(xiàng)專利。其12英寸高端刻蝕設(shè)備已用于迄今最先進(jìn)的5nm生產(chǎn)線上；其3nm刻蝕機(jī)Alpha原型機(jī)的設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試及初步的工藝開發(fā)和評(píng)估也已完成。

▲中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理尹志堯

在最新的訪談中，尹志堯不僅生動(dòng)地介紹了光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等設(shè)備如何像蓋高樓、剪窗花一樣應(yīng)用于芯片制造，而且分享了他對(duì)芯片制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展的深入見解。

他提到投資一條5nm動(dòng)輒花費(fèi)100億美元，其中約70%~80%用于采購(gòu)各種設(shè)備，而研發(fā)高端芯片制造設(shè)備需要投入大量時(shí)間和資金。例如全球光刻機(jī)老大過去20年花費(fèi)約1500億人民幣，中微自身過去16年也花費(fèi)了約20億人民幣。

此外，據(jù)其觀察，在芯片制造領(lǐng)域，大陸與國(guó)際先進(jìn)水平間的差距在三代左右，約為5~10年。由于華人對(duì)美國(guó)集成電路發(fā)展做出巨大貢獻(xiàn)，他相信中國(guó)集成電路將來必然能達(dá)到世界最先進(jìn)水平，但從近期來講，必須認(rèn)真對(duì)待人才培養(yǎng)、不對(duì)稱競(jìng)爭(zhēng)、資本過熱等問題。

同時(shí)，尹志堯認(rèn)為，包括美國(guó)在內(nèi)，沒有任何一個(gè)國(guó)家僅憑一國(guó)之力就能做出芯片，他相信科技創(chuàng)新的生產(chǎn)力會(huì)逐漸促進(jìn)各國(guó)之間的合作。而想發(fā)展國(guó)際市場(chǎng)的公司，都應(yīng)確保不涉及專利侵權(quán)、尊重各國(guó)出口規(guī)則，避免給國(guó)家添麻煩。

我們對(duì)此次訪談的干貨做了精編，內(nèi)容如下：

一、近60年，人類微觀加工能力已提升1萬億倍

從手機(jī)、電腦、家用電器到出門開車，人們的生活越來越離不開芯片。如果在家里排查一番，多則能找出大概數(shù)百個(gè)芯片。

據(jù)尹志堯分享，近60年來，隨著數(shù)碼時(shí)代、智能時(shí)代的發(fā)展，人類將微觀器件面積縮小到原來的1萬億分之一，即微觀加工能力已提升1萬億倍。

“相當(dāng)于200萬棟五層的大樓，里面全是電子管，現(xiàn)在縮到一個(gè)指甲蓋上去了，這是一個(gè)非常奇妙的革命?！币緢蛘f。

而通過光刻機(jī)、薄膜機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)的芯片制造設(shè)備的組合拳，尹志堯說：“（在一個(gè)米粒上）用手工刻，我見過最多的是不到300個(gè)字，我們現(xiàn)在可以在米粒上刻1億個(gè)字。”

二、芯片制造如同剪窗花，10000/1頭發(fā)絲上能蓋出五六十層的晶體管微觀大樓

芯片制造流程包括切割晶圓、涂膜、光刻、刻蝕、摻雜、測(cè)試等等。其中，光刻技術(shù)、刻蝕技術(shù)、薄膜沉積為主要生產(chǎn)技術(shù)。

光刻技術(shù)是一種將圖紙上的芯片電路設(shè)計(jì)通過類似照片沖印的技術(shù)印制到硅片上的技術(shù)，而刻蝕技術(shù)主要用于在芯片上進(jìn)行微觀雕刻。

每個(gè)線條和深孔的加工精度，如同在人的頭發(fā)絲直徑的幾千萬分之一甚至上萬分之一的面積上，進(jìn)行有50~60層大樓的“微觀世界”的建設(shè)。

尹志堯?qū)⒔ㄔO(shè)其中的每一層，比作剪窗花。剪窗花需要一張紅紙，然后用筆來描圖，再用剪刀將不需要的部分剪掉，就做出來這一層的結(jié)構(gòu)了。

光刻機(jī)、薄膜機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)正是做類似的事情。薄膜機(jī)鋪一層材料，就如剪窗花要有一張紅紙，然后光刻機(jī)在上面畫各種花紋，等離子體刻蝕機(jī)將不要的東西刻掉。三步缺一不可。

其中最重要的是光刻機(jī)，如果光刻機(jī)畫不出花紋來，等離子體刻蝕機(jī)就不知道怎么去刻。

這樣一層一層往上蓋，如果做5nm，每一層大概有十幾個(gè)步驟，如果要蓋五六十層，需經(jīng)約1000個(gè)工藝步驟加工。就這樣，像蓋樓一樣，一層一層將芯片這個(gè)復(fù)雜而精細(xì)的微觀結(jié)構(gòu)做了出來。

三、等離子體刻蝕機(jī)16年花費(fèi)了20億人民幣

一個(gè)芯片的制造涉及到50多個(gè)學(xué)科知識(shí)和技術(shù)、幾百到上千個(gè)步驟。建設(shè)一條先進(jìn)的芯片生產(chǎn)線，需要10大類、300多種細(xì)分設(shè)備，共需要3000多臺(tái)各種設(shè)備。

這帶來巨大的投資開銷。尹志堯說，要投資一條5nm生產(chǎn)線，大概需投資100億美金，1個(gè)月可以生產(chǎn)5萬~6萬片。這100億美金中，70%~80%用于采購(gòu)各種設(shè)備。

工欲善其事，必先利其器。尹志堯舉了兩個(gè)例子，一是全球光刻機(jī)霸主荷蘭ASML公司，二是中微公司自身。

20年前，ASML已經(jīng)是世界最先進(jìn)的光刻機(jī)公司之一，過去20年它花了約200億歐元，相當(dāng)于1500億人民幣。一個(gè)已經(jīng)成熟的公司尚且需要花費(fèi)如此大的開銷，才開發(fā)出新一代EUV（極紫外線）光刻機(jī)。

做等離子體刻蝕機(jī)的中微公司，在過去16年大約花費(fèi)了20億人民幣，相比光刻機(jī)要少，但也已經(jīng)是相當(dāng)多的錢。

尹志堯提到高端設(shè)備往往有3個(gè)共性特點(diǎn)：一是開發(fā)時(shí)間長(zhǎng)，少則3年、5年，一般需要7~10年才能做出來的，長(zhǎng)則可能10年、20年；二是投資需要幾十億元地投；三是在這個(gè)領(lǐng)域里，每一個(gè)具體設(shè)備，國(guó)際上僅有兩三家能夠做，即高度壟斷，所以它的競(jìng)爭(zhēng)格局和一般的產(chǎn)業(yè)不一樣的。

四、國(guó)內(nèi)芯片制造與國(guó)際先進(jìn)水平差距：大約三代、5~10年

國(guó)內(nèi)芯片制造為何會(huì)與國(guó)際先進(jìn)水平存在差距？

尹志堯認(rèn)為，這并不是因?yàn)橹袊?guó)人科學(xué)技術(shù)能力差，而是因?yàn)槲覈?guó)在過去40年改革開放，主要補(bǔ)了第一代工業(yè)革命的課，如今，在高鐵、蓋跨海長(zhǎng)橋等基建方面，我們都是世界最好的。

但在這40年期間，國(guó)外的重點(diǎn)在于智能和數(shù)碼時(shí)代的革命，所以我們現(xiàn)在要繼續(xù)直追。而如果沒有基礎(chǔ)工業(yè)的根基，是沒有辦法做芯片的，這是一個(gè)客觀原因。

我國(guó)芯片發(fā)展速度已經(jīng)很快，中低端芯片都做得相當(dāng)不錯(cuò)，但在高端芯片方面仍受制于國(guó)外設(shè)備及技術(shù)，這還需要一段時(shí)間才能趕上。

據(jù)尹志堯分享，現(xiàn)在國(guó)內(nèi)14nm已經(jīng)在生產(chǎn)線上大量生產(chǎn)，7nm開始要進(jìn)入生產(chǎn)；而國(guó)外5nm已經(jīng)量產(chǎn)，3nm大概會(huì)在明年進(jìn)入試生產(chǎn)。因此，我們和國(guó)際先進(jìn)水平的差距大概在三代左右，約為5~10年。

而國(guó)外正以最快的速度發(fā)展，因此我們必須要加緊趕上去。

五、拒絕誤傳！中微不做芯片，5nm技術(shù)僅用于刻蝕機(jī)

2018年4月，隨著中微已掌握5nm刻蝕技術(shù)的消息發(fā)布，一些媒體跟風(fēng)散播“我國(guó)已掌握了5nm芯片工藝，國(guó)產(chǎn)芯片的春天到了”之類的消息。

此類報(bào)道，令尹志堯感到十分驚異。他辟謠說，中微在2018年的確掌握了5nm技術(shù)，但這僅限于刻蝕機(jī)，中微公司并不是做芯片的，只是給做芯片的公司提供設(shè)備。

對(duì)此，他有兩個(gè)想法。一是真正在業(yè)界工作的人士，都在努力做一件實(shí)事，不斷推進(jìn)技術(shù)，然后產(chǎn)生的產(chǎn)品能夠回饋給社會(huì)，給老百姓用。這本來是一個(gè)好事兒，可以去宣傳，但是不要夸大宣傳，而應(yīng)該實(shí)事求是地宣傳。

另外，他特別希望強(qiáng)調(diào)的是，集成電路是成千上萬的集成努力，不要太過分地突出一個(gè)人的作用，任何一個(gè)人是做不成任何事情的，只有很多企業(yè)的聯(lián)合作戰(zhàn)，才能將這個(gè)產(chǎn)業(yè)推向前進(jìn)。

2017年，許多國(guó)家的半導(dǎo)體制造還處在10nm和7nm階段，而四年后的今天，5nm的芯片已投入生產(chǎn)，與此同時(shí)，半導(dǎo)體行業(yè)的從業(yè)者們，還在不斷向物理極限發(fā)起挑戰(zhàn)，2nm、1nm……最后的極限還尚未可知。

尹志堯認(rèn)為，很難說什么是最后極限，“最后的極限就是原子水平和分子水平的加工。其實(shí)我們刻蝕機(jī)已經(jīng)刻到一兩個(gè)原子這樣的準(zhǔn)確度?！?/p>

六、沒有國(guó)家能憑一國(guó)之力做出芯片，科技創(chuàng)新定會(huì)促進(jìn)各國(guó)合作發(fā)展

尹志堯還特別強(qiáng)調(diào)說，集成電路產(chǎn)業(yè)需要全世界各國(guó)和很多公司上下協(xié)同努力才能做出來。“沒有任何一個(gè)國(guó)家，包括美國(guó)在內(nèi)，可以靠自己一國(guó)之力，把集成電路從頭做到尾。”

美國(guó)雖然是半導(dǎo)體集成電路的發(fā)源地，但是經(jīng)過這四五十年的發(fā)展，美國(guó)本土能做的芯片或設(shè)備也是有限的。

比如美國(guó)現(xiàn)在要在自己本國(guó)建一條生產(chǎn)線，尹志堯估計(jì)，它有將近一半的設(shè)備和材料要從日本、歐洲和亞洲進(jìn)口。整個(gè)集成電路的技術(shù)是一個(gè)很長(zhǎng)的生產(chǎn)鏈，沒有任何一個(gè)國(guó)家可以關(guān)起門來，獨(dú)立把它做起來。

而且科技創(chuàng)新的生產(chǎn)力，會(huì)逐漸地促進(jìn)各個(gè)國(guó)家之間的合作。

當(dāng)然，最后每一個(gè)國(guó)家都要有自己獨(dú)立自主發(fā)展的戰(zhàn)略。特別是大國(guó)，不可能什么都依賴別人。有從芯片設(shè)計(jì)到制造、設(shè)備、材料等非常完整的產(chǎn)業(yè)鏈，是有后發(fā)優(yōu)勢(shì)的。

“我們必須在這個(gè)基礎(chǔ)上，進(jìn)一步地使我們各個(gè)產(chǎn)業(yè)上的關(guān)鍵環(huán)節(jié)能夠有超常的發(fā)展，而且我們有些核心技術(shù)要超過國(guó)際上的先進(jìn)水平，這一點(diǎn)我有非常強(qiáng)的信心?！币緢蛘f。

七、華人對(duì)美國(guó)集成電路發(fā)展做出巨大貢獻(xiàn)

尹志堯回憶道，在美國(guó)的集成電路歷史上，華人起到了非常關(guān)鍵的作用。

1984年，尹志堯到英特爾中心研究開發(fā)部時(shí)，第一天就令他感到傻眼。

中心研究開發(fā)部有兩個(gè)大的部門，一個(gè)是單元操作部門，就是光刻機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)、薄膜機(jī)能做到什么樣的程度；另一個(gè)是工藝集成部門。

他當(dāng)時(shí)以為這里都是美國(guó)人在做，但其實(shí)，單元操作部門研究題目組的組長(zhǎng)、經(jīng)理絕大部分都是華人，工藝集成部門中幾位最主要的、能干的工程師人員，多數(shù)也是華人。

“所以其實(shí)華人對(duì)美國(guó)集成電路歷史的發(fā)展，做出了非常大的貢獻(xiàn)。”尹志堯說。例如，當(dāng)前5nm芯片采用的晶體管結(jié)構(gòu)FinFET，是由華人教授胡正明在20多年前提出來的。

在尹志堯看來，之所以華人在美國(guó)集成電路的發(fā)展歷程中起了非常大的作用，是因?yàn)橹袊?guó)人比較重視數(shù)理化工程，而且有耐心，而做集成電路一定要有耐心。

因此，他對(duì)中國(guó)將來在集成電路能夠達(dá)到世界最先進(jìn)水平?jīng)]有任何疑問，但是近期來講，我們必須要認(rèn)真對(duì)待目前的問題。

八、中國(guó)人才培養(yǎng)需要重視產(chǎn)研結(jié)合，但目前仍未認(rèn)真落實(shí)

談及集成電路教育，尹志堯希望加強(qiáng)產(chǎn)研交流。

集成電路是多種知識(shí)的集成，光是做半導(dǎo)體設(shè)備，就需要50個(gè)學(xué)科并用。做集成電路，涉及機(jī)械設(shè)計(jì)，強(qiáng)電、弱電、軟件設(shè)計(jì)、工藝過程、材料科學(xué)等，有太多的知識(shí)領(lǐng)域要學(xué)習(xí)。

因此他建議業(yè)界技術(shù)專家和高校教授之間有更多的交流，因?yàn)閷W(xué)校教育通常相對(duì)滯后于產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，希望也能請(qǐng)一些業(yè)界的人到學(xué)校做客座教授，或者做一些科學(xué)講演，讓學(xué)生也可以到公司來做實(shí)習(xí)。

這個(gè)互動(dòng)非常重要，不僅能讓學(xué)生很快就進(jìn)入這個(gè)前沿領(lǐng)域，而且可以引起他們的興趣，產(chǎn)業(yè)、教育和科研之間，一定要想辦法真正找到一個(gè)結(jié)合點(diǎn)。

九、我國(guó)芯片制造面臨的主要問題：不對(duì)稱競(jìng)爭(zhēng)

尹志堯認(rèn)為，當(dāng)前我們芯片制造面臨的主要矛盾，在于不對(duì)稱競(jìng)爭(zhēng)。

首先是公司規(guī)模的不對(duì)稱。比如國(guó)外占?jí)艛嗟匚坏墓?，它的收入是我?guó)相似公司的20倍，它的研發(fā)投入也是差不多20倍。這就有問題了，如果差了3代、5代，結(jié)果人家的研發(fā)經(jīng)費(fèi)是我的20倍，那一個(gè)公司怎樣單打獨(dú)斗能夠盡快趕上去？這是一個(gè)非常難的事情。

另外是市場(chǎng)準(zhǔn)入的不對(duì)稱。例如，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)線買我們的設(shè)備，是近水樓臺(tái)，差不多設(shè)備能用就用了；但要打到國(guó)外去，一定要有什么東西比美國(guó)日本的設(shè)備更好，不但要好，性價(jià)比還要高，甚至要便宜很多，這樣人家才愿意試用你的設(shè)備，門檻是慢慢越來越高的。

這里關(guān)鍵最大的問題，還是研發(fā)經(jīng)費(fèi)的困擾。尹志堯說，特別是公司上市以后，擔(dān)心盈利的問題，但要盈利，唯一的辦法就是砍研發(fā)。

“我們的研發(fā)就是把所有的銷售都拿去，100%投入研發(fā)，所以這個(gè)問題怎么解決？怎么能夠在這種情況下，不強(qiáng)調(diào)公司的盈利，而是強(qiáng)調(diào)公司研發(fā)的投入、它的增長(zhǎng)速度和競(jìng)爭(zhēng)力？這是我們政策深化改革要研究的課題?！彼f道。

我們?cè)诟叨诵酒O(shè)計(jì)上并不是那么卡脖子，現(xiàn)在關(guān)鍵問題在于制造精度。比如如果拿不到世界最先進(jìn)的光刻機(jī)，那么芯片生產(chǎn)就會(huì)受限制。

在他看來，我國(guó)芯片設(shè)計(jì)領(lǐng)域尤其呈現(xiàn)“春秋戰(zhàn)國(guó)”之態(tài)勢(shì)。工信部統(tǒng)計(jì)中國(guó)有超過1700家芯片設(shè)計(jì)公司，甚至有人說可能要到五六千家，而一家芯片設(shè)計(jì)公司只要三五十人，有計(jì)算機(jī)、設(shè)計(jì)軟件，就可以做簡(jiǎn)單芯片了。

在尹志堯看來，這是一個(gè)既好又不好的現(xiàn)象。好的地方在于很熱，大家都希望把它做好；不好的地方就是太多的重復(fù)性勞動(dòng)，而且互相內(nèi)部的競(jìng)爭(zhēng)也多，因此他認(rèn)為要做一些宏觀調(diào)控。

十、芯片類企業(yè)在資本市場(chǎng)熱度過高，需宏觀調(diào)控防止“爛尾”

同時(shí)，尹志堯也談到資本過熱現(xiàn)象。

資本市場(chǎng)及大眾正越來越認(rèn)識(shí)到集成電路產(chǎn)業(yè)的重要，這一領(lǐng)域投資變多，在他看來，這是很好而且非常必要的事情，但也確實(shí)需要一定的宏觀調(diào)控，否則有些過熱。

“因?yàn)橹袊?guó)國(guó)家大，只要一動(dòng)員起來就是熱情很高，就會(huì)出現(xiàn)一些問題，現(xiàn)在有一些投資，我們管它講得不好聽，叫爛尾工程，還沒有剛剛啟動(dòng)到什么程度，就搞不下去或者資金不到位了，或者領(lǐng)導(dǎo)集團(tuán)沒有形成了等等之類的，效果不是很好?！币緢蛘f，“所以我覺得這個(gè)方面，需要更多的引導(dǎo)，或者更多頂層設(shè)計(jì)，但也要放手讓各省市和這個(gè)產(chǎn)業(yè)能做好它自己的事。”

另一點(diǎn)，尹志堯認(rèn)為一個(gè)企業(yè)的發(fā)展過程中，最主要的是有一個(gè)核心團(tuán)隊(duì)。比如中微公司的核心團(tuán)隊(duì)，很多人都合作了二三十年，所以彼此很了解很團(tuán)結(jié)，這是非常重要的。

“如果一個(gè)企業(yè)不是以核心的領(lǐng)導(dǎo)該團(tuán)隊(duì)來驅(qū)動(dòng)，而是被資本驅(qū)動(dòng)的時(shí)候，就出問題了。因?yàn)橘Y本它是有錢，但是外行。如果它來要想控制這個(gè)故事的話，這個(gè)故事就會(huì)出問題?！?/p>

尹志堯的諫言就是要重視一個(gè)企業(yè)的發(fā)展，一定要培育和支持它領(lǐng)導(dǎo)集團(tuán)的形成。

十一、全員持股是為了公司更長(zhǎng)遠(yuǎn)的發(fā)展

中微公司是全員持股的一個(gè)公司，這在其科創(chuàng)板上市時(shí)還引發(fā)過一些爭(zhēng)議。

對(duì)于這一點(diǎn)，尹志堯提到他到硅谷時(shí)，非常有幸地首先加入了英特爾，后來到了泛林公司，再后來到了應(yīng)用材料公司，在這3個(gè)公司干了20年。

“為什么這三個(gè)公司能成為世界目前是最好的公司？大家可能不知道里面有一個(gè)關(guān)鍵的東西，第一天就是全員持股?！?/p>

尹志堯認(rèn)為全員持股的奇妙之處，在于將這個(gè)員工管理層長(zhǎng)遠(yuǎn)的利益和公司的發(fā)展綁定。

如果員工只有工資和獎(jiǎng)金，那么如果另外一個(gè)公司來挖，給他20%~30%的高薪金，他就走了，他對(duì)公司沒有任何的利益相關(guān)，而且甚至?xí)兂稍瓉砉镜母?jìng)爭(zhēng)者。

但是如果有了這個(gè)股份，他把自己的利益和公司的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展就綁定了，而且按照一般的經(jīng)驗(yàn)，大概是其股權(quán)的最后收入，是其工資的3倍到5倍。

“我們公司剛開始的時(shí)候，我就立志一定要做一個(gè)全員持股的公司，其實(shí)也是為了公司的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展，就是每一個(gè)級(jí)別差20%的股票，而且每一級(jí)別的工資差10%，是一個(gè)非常扁平的，我叫中微的特色的社會(huì)主義集體所有制。”尹志堯說。

十二、美方懷疑中微違反美國(guó)專利保護(hù)，充分溝通后不但放行，還取消了出口控制

剛回國(guó)時(shí)，尹志堯帶領(lǐng)的15人小團(tuán)隊(duì)非常謹(jǐn)慎，深知絕不帶任何文件回來，不涉及任何商業(yè)機(jī)密，以避免引起法律糾紛。

因?yàn)樽叩酶筛蓛魞?，?dāng)時(shí)尹志堯他們并沒有引起美國(guó)政府的注意，直到三年后，做出刻蝕設(shè)備了，美國(guó)老東家懷疑中微拿到了他們的一些商業(yè)機(jī)密，將中微告上法庭。

自知清白的中微底氣十足，聘請(qǐng)了美國(guó)一流的律師，徹查當(dāng)時(shí)已有的600萬件文件，確認(rèn)完全沒有對(duì)方的文件或技術(shù)機(jī)密，最終案件達(dá)成和解。

但這些訴訟案引起了美國(guó)商務(wù)部的重視，于是尹志堯團(tuán)隊(duì)主動(dòng)到美國(guó)商業(yè)部、國(guó)務(wù)院等各部門做溝通，既提到集成電路生產(chǎn)及設(shè)備產(chǎn)業(yè)往亞洲遷移是不可避免的客觀規(guī)律，也承諾從美國(guó)回來的人絕對(duì)不帶任何的商業(yè)機(jī)密材料和細(xì)節(jié)、中微發(fā)明創(chuàng)造的所有產(chǎn)品不能違反任何專利，并承諾保持經(jīng)常溝通、遵守美國(guó)所限制的法律。

“所以經(jīng)過這樣的充分溝通以后，他們認(rèn)為我們是比較職業(yè)化的而且守法的公司，所以就給我們放行了?！币緢蛘f，后來不但放行了，還讓中微進(jìn)入終端客戶認(rèn)證名單，也就是美國(guó)出口控制設(shè)備的一個(gè)白名單，只要申請(qǐng)一次，就能自由采購(gòu)。

再后來，因?yàn)橹形⒁呀?jīng)做出了有競(jìng)爭(zhēng)能力并且有相當(dāng)數(shù)量的等離子體刻蝕機(jī)，所以美國(guó)干脆將此前幾十年對(duì)中國(guó)刻蝕機(jī)的出口控制取消了。

尹志堯認(rèn)為，無論是怎樣的公司，只要到達(dá)國(guó)際市場(chǎng)，一定要按照國(guó)際規(guī)則做事，一方面不能涉及專利侵權(quán)，有自己的專利保護(hù)，另一方面要尊重各國(guó)對(duì)出口的限制和管制，只要在這兩點(diǎn)上不出問題，公司就能安全健康的發(fā)展。各個(gè)公司不要因?yàn)檫@些點(diǎn)做得不好，而給國(guó)家?guī)砝_。

同時(shí)，在他看來，相比打?qū)＠麘?zhàn)，用自身實(shí)力、更好的設(shè)計(jì)、更好的設(shè)備性能才是更好的競(jìng)爭(zhēng)方式。