電子特種氣體是真正意義上的高精尖產(chǎn)品，在芯片制造中必不可少，想要做到進口替代，必須具備國際一流品質(zhì)。過去，這一市場幾乎被國際廠商壟斷。但就是憑著十幾年的堅持，華特氣體已經(jīng)實現(xiàn)了對國內(nèi)8寸以上集成電路制造廠商超過80%的客戶覆蓋率。尤其值得一提的是，華特氣體通過了全球最大光刻機生產(chǎn)商荷蘭阿斯麥（ASML）公司的認證，成為中國國內(nèi)唯一通過認證的氣體公司。

2002年，華特氣體確定了以特種氣體為發(fā)展方向，時至今日，華特氣體的特種氣體主要用于半導(dǎo)體芯片行業(yè)，目前已實現(xiàn)對國內(nèi)8寸以上集成電路制造廠商超過80%的客戶覆蓋率。與國內(nèi)大部分替代性產(chǎn)品主打性價比不同，華特氣體的產(chǎn)品在品質(zhì)上與國際競品完全一致，達到國際一流水準。例如，華特氣體的產(chǎn)品已能為臺積電批量供應(yīng)5納米工藝，而國內(nèi)（其他企業(yè)）最先進的產(chǎn)品僅能供應(yīng)14納米工藝。傅鑄紅說，經(jīng)歷前期嚴格的認證并通過后，一旦進入供應(yīng)鏈體系并開始批量供應(yīng)后，華特氣體與客戶的合作關(guān)系也就趨向穩(wěn)定，“我們現(xiàn)在的競爭對手基本都是國外企業(yè)?！?/p>

奮斗19年獲阿斯麥認證

光刻是芯片制造最關(guān)鍵的工藝之一，光刻需要由光刻機來完成，而全球最頂級的光刻機公司就是荷蘭的阿斯麥。“光刻機里有一個激光腔，激光腔體內(nèi)要通入稀有的混合氣體，利用稀有氣體電離激發(fā)出一種特定波長和能量的激光?！备佃T紅說，“光刻機再使用激光，去除芯片表面的光刻膠涂層，在芯片表面形成線寬為納米級的特定的電路圖案?！币虼?，這個工序是決定芯片工藝精度的最重要的工序。光刻混合氣是非常復(fù)雜且高精度的產(chǎn)品，一般一種光刻氣中會含有4-5種組分氣體?！坝眉す鈦砑庸ば酒砻?，需要讓激光波長和能量長時間保持穩(wěn)定，如果氣體純度不夠或配比不精準，就會導(dǎo)致激光能量時高時低或不持續(xù)?！彼忉專斑@必然影響光刻效果?！?017年，華特氣體的光刻混合氣通過阿斯麥認證，在這個認證名單中，全球僅有四家企業(yè)，華特氣體是中國唯一一家。這個認證對華特氣體意義巨大?！斑M入阿斯麥的認證，意味著阿斯麥強烈建議它的光刻機用戶，在使用阿斯麥光刻機時，要配套使用這四家企業(yè)的光刻氣。否則，若用戶發(fā)現(xiàn)光刻效果不好，阿斯麥不承擔(dān)責(zé)任?！备佃T紅介紹。

從研發(fā)光刻混合氣，到獲得全球頂級光刻機企業(yè)的認證，華特氣體用了19年時間?！拔覀儚?998年就開始研發(fā)這款氣體，過程非常艱難?！备佃T紅回憶光刻混合氣的研發(fā)歷程說。特別是有些組分氣體含量非常少，只有幾克甚至零點幾克，要將它們精準的混合在一起，還要保證氣體在運輸和儲存過程中沒有任何變化，這對氣體企業(yè)的技術(shù)要求非常高。當(dāng)年，在幾乎沒有任何專利文獻可以參考的情況下，華特氣體的研發(fā)團隊就是憑著毅力，不停試錯和摸索，在積累了幾千組實驗數(shù)據(jù)后，最終研制成功。但很快華特氣體又迎來第二個挑戰(zhàn)：如何讓阿斯麥相信華特氣體？作為一家民營氣體企業(yè)，華特氣體在國際競爭對手面前，體量并不大。2019年，華特氣體營業(yè)收入為8.44億元人民幣。而法液空、林德等國際巨頭氣體企業(yè)，營收都在千億人民幣以上。傅鑄紅回憶，正因如此，阿斯麥在最初的接洽中甚至不愿意測試華特氣體生產(chǎn)的光刻混合氣，“但我們不斷地和他們溝通，通過展示生產(chǎn)過程、品控手段、精準檢測的技術(shù)等，前后用了近一年的時間，讓阿斯麥相信了我們的專業(yè)能力，最終測試并通過了認證?！?/p>

抓住危機下的機遇、未來將開展海外并購

近幾年，華特氣體保持著每年研發(fā)推出2-3種新氣體的節(jié)奏?，F(xiàn)在在研氣體項目13種，其中8寸片氣體10種、12寸片氣體3種，主要涉及光刻、蝕刻、清洗、沉積等環(huán)節(jié)，基本都用于進口替代。其中，某氫化物合成研發(fā)項目是為了填補全球技術(shù)空白。憑借過硬的產(chǎn)品，華特氣體的特種氣體已進入了英特爾、美光科技、德州儀器、海力士等全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體企業(yè)供應(yīng)鏈體系，成為一把不容忽視的中國力量。但是，對標法液空、林德等國際巨頭，華特氣體要成為推動中國半導(dǎo)體行業(yè)高端化發(fā)展的“尖刀部隊”，還有較長的路要走。這主要體現(xiàn)在產(chǎn)業(yè)鏈縱深程度和產(chǎn)品線的廣度上。傅鑄紅表示，一方面，特種氣體對上游原材料品質(zhì)要求較高，縱向一體化發(fā)展有利于華特氣體加強對上游的把控。另一方面，是特種氣體品種繁多，通過橫向并購成熟的、優(yōu)秀的細分產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)，能夠快速補充華特氣體的產(chǎn)品線，將公司做大做強。

2019年，華特氣體成功登陸科創(chuàng)板，這給華特氣體開展橫縱向拓展帶來了資本利好。特別是本次疫情引發(fā)了經(jīng)濟周期的下行，也給華特的擴張帶來了不小的機會，傅鑄紅表示：“我們會認真研究那些能給華特帶來較強協(xié)同效應(yīng)、對主業(yè)有所幫助的標的，適時開展并購或投資。”“未來，我們計劃還要開展海外的兼并和收購，”他展望，“目前，我們的氣體已出口海外50多個國家和地區(qū)，銷售占比20%左右，但這些都是通過當(dāng)?shù)氐臍怏w公司進行分銷。我們希望通過海外兼并和收購，以直接設(shè)點的方式去服務(wù)我們的海外終端用戶?！?/p>

用全球視野搶占行業(yè)制高點

自2002年確立以特種氣體為發(fā)展方向以來，華特氣體的成長路徑一直踐行著“全球化的視角下，搶占行業(yè)制高點”。特種氣體，尤其是應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的電子特種氣體的國產(chǎn)化，沒有國際一流的品質(zhì)，就進入不了半導(dǎo)體行業(yè)的供應(yīng)鏈。作為“后起之秀”，華特氣體之所以能夠在這一巨頭壟斷的高端細分市場中撕開一道口子，就是因為十多年來，華特一直瞄準國際一流產(chǎn)品，堅持研發(fā)高端特種氣體，繼而實現(xiàn)進口替代。未來華特氣體還會繼續(xù)以特種氣體為發(fā)展方向，瞄準大尺寸、小線寬這些半導(dǎo)體先進制程，不斷的研制并推出一批技術(shù)難度高、市場容量大的產(chǎn)品，這也是華特作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)應(yīng)承擔(dān)起的責(zé)任。