相干公司130W LEAP準(zhǔn)分子激光器

相干公司2kHz的IndyStar 準(zhǔn)分子激光器

采用紫外準(zhǔn)分子激光器進(jìn)行聚合物的加工可以產(chǎn)生非常干凈的燒蝕效果，而且?guī)缀醪粫?huì)產(chǎn)生熱效應(yīng)區(qū)。同時(shí)隨著準(zhǔn)分子激光器輸出功率的增長(zhǎng)，其加工效率也不斷提高。

目前，紫外微加工技術(shù)在塑料襯底上最卓有成效的一項(xiàng)應(yīng)用就是用于噴墨打印機(jī)高質(zhì)量噴嘴的制造，它要求在塑料基板上鉆出孔徑為10-50um的微孔。這種超高精密度的加工工藝是采用248nm或者308nm的準(zhǔn)分子激光器通過(guò)掩模板成像技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)的，它要求激光輸出功率密度達(dá)到600-800mJ/cm2。掩模板成像技術(shù)一次可以加工出300個(gè)微孔。通常加工一個(gè)完整的噴嘴微孔陣列需要200個(gè)激光脈沖。相干公司130W的LEAP系列準(zhǔn)分子激光器工作頻率可達(dá)200Hz，非常適合于這種鉆孔應(yīng)用。

對(duì)于個(gè)別的需要更加靈活的鉆孔方式的需求而言，一個(gè)可行的辦法就是采用掃描頭來(lái)改變輸出光束在塑料基板上的位置。除非你需要在塑料基板上鉆斜孔，否則，采用這種方式就必須要配置一個(gè)垂直場(chǎng)鏡，這樣才能保證入射光始終都是垂直照射在塑料基板上。由于現(xiàn)在掃描振鏡的速度非常快，因此相應(yīng)地需要高重頻的準(zhǔn)分子激光器，相干公司的IndyStar系列激光器就是這樣一款產(chǎn)品，它具有2kHz的重復(fù)頻率。

圖1：50um厚度的塑料板加工出的孔徑60um的通孔，波長(zhǎng)308nm，能量密度800mJ/cm2, 200脈沖