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激光技術(shù)

光學(xué)工業(yè)——光在工業(yè)方面的應(yīng)用

Johnny 來源:Light China2014-12-16 我要評(píng)論(0 )   

激光切割,利用高能量密度的激光束作為切割刀具對(duì)材料進(jìn)行熱切割的一種材料加工方法。特點(diǎn)是利用能量密度極高的激光束照射工件切割部位,使其材料瞬間熔化或蒸發(fā),并在...

  激光切割,利用高能量密度的激光束作為“切割刀具”對(duì)材料進(jìn)行熱切割的一種材料加工方法。特點(diǎn)是利用能量密度極高的激光束照射工件切割部位,使其材料瞬間熔化或蒸發(fā),并在沖擊波作用下將熔融物質(zhì)噴射出去。

 

激光焊接,對(duì)于具有共熔性的同種或異種金屬,在激光照射下,由于吸收光能,使局部溫度迅速升高,在功率密度恰當(dāng)時(shí),局部被照射部分的金屬達(dá)到熔點(diǎn),但不發(fā)生汽化,待熔化金屬冷卻后,兩部分材料就焊接在一起,這是一種很直接簡(jiǎn)便的焊接方法。

 

激光打標(biāo),利用高能量密度的激光對(duì)工件進(jìn)行局部照射,使表層材料汽化或發(fā)生顏色變化的化學(xué)反應(yīng),從而留下永久性標(biāo)記的一種打標(biāo)方法。聚焦后的極細(xì)的激光光束如同刀具,可將物體表面材料逐點(diǎn)去除。

 

激光清洗,一種新型激光表面處理技術(shù)。它是利用高能激光束照射工件表面,使表面的污物、銹斑、或涂層發(fā)生瞬間蒸發(fā)或剝離,高速有效地清除對(duì)象表面附著物或表面涂層,從而達(dá)到清潔材料表面的工藝過程。

 

激光淬火,指用高功率密度的激光束快速掃描工件,在其表面極薄一層的區(qū)域內(nèi),溫度以極快速度上升到奧氏體化溫度(高于相變點(diǎn)而低于熔化溫度),而工件基體溫度基本保持不變。當(dāng)激光束移開時(shí),由于熱傳導(dǎo)的作用,處于冷態(tài)的基體使其迅速冷卻得到馬氏體組織實(shí)現(xiàn)自冷淬火,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)工件表面相變硬化。

 

光刻技術(shù),是用平面技術(shù)制造集成電路時(shí),借助于光在襯底硅的氧化層上刻出所需要的圖形的技術(shù)。光刻技術(shù)是集成電路工藝中的關(guān)鍵技術(shù)。激光光刻可以分為激光投影式光刻和激光無掩膜光刻技術(shù)。傳統(tǒng)的激光投影式光刻技術(shù)是基于光學(xué)曝光法,其曝光技術(shù)最終制約著光刻工藝的分辨率。激光無掩膜光刻技術(shù)是利用激光束在基體的表面直接進(jìn)行微納(微米或納米)圖形的制備。 這種技術(shù)是直寫式無接觸的加工技術(shù), 因而無需傳統(tǒng)曝光輻射式的光掩膜以及納米壓印接觸式的模板, 也避免了接觸時(shí)出現(xiàn)的摩擦、粘附污染等問題。

 

使用激光投影式光刻技術(shù)時(shí),光束經(jīng)過光學(xué)器件系統(tǒng)聚焦、投影到掩膜上,經(jīng)過掩膜達(dá)到光刻膠膜面實(shí)現(xiàn)曝光,但是光學(xué)投影系統(tǒng)的分辨率受到衍射的限制。激光在材料上的作用區(qū)域大小與材料的吸收系數(shù)、導(dǎo)熱系數(shù)以及激光脈沖的能量和持續(xù)時(shí)間有關(guān),通過選擇合適的材料、優(yōu)化加工參數(shù),可以將激光的有效作用點(diǎn)大小控制到小于微米的量級(jí),實(shí)現(xiàn)激光無掩膜光刻。

 

根據(jù)制備納米圖形原理的不同,典型的激光無掩膜光刻技術(shù)有激光近場(chǎng)掃描光刻、干涉光刻、非線性光刻以及激光熱刻蝕和微透鏡陣列光刻等。激光近場(chǎng)掃描光刻可以克服衍射極限的限制,實(shí)現(xiàn)超分辨的效果。激光干涉光刻可以實(shí)現(xiàn)大面積高效制備納米圖形,利用兩束相干光形成的平行駐波圖形對(duì)光刻膠實(shí)行曝光。激光非線性光刻是利用材料的非線性吸收特性,突破衍射極限的限制,實(shí)現(xiàn)高的分辨率。激光熱刻蝕是基于材料吸收光子后產(chǎn)生的熱效應(yīng)引發(fā)材料的物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,如相變和化學(xué)斷鍵等,從而使得激光輻照區(qū)域和非輻照區(qū)域在特定的顯影劑有不同的抗蝕性,經(jīng)顯影后留下圖形結(jié)構(gòu)。

 

激光照排,是用激光光束對(duì)感光材料進(jìn)行掃描曝光以獲得文字版面。所謂激光照排技術(shù),就是將文字通過計(jì)算機(jī)分解為點(diǎn)陣,然后控制激光在感光底片上掃描,用曝光點(diǎn)的點(diǎn)陣組成文字和圖像。

 

工業(yè)顯微技術(shù)廣泛地應(yīng)用于工業(yè)檢測(cè)、工業(yè)探傷、精密測(cè)控、自動(dòng)生產(chǎn)線等領(lǐng)域。通常人眼無法快速、連續(xù)、穩(wěn)定地完成這些帶有高度重復(fù)性和準(zhǔn)確性要求的工作,由此人們開始考慮利用光電成像系統(tǒng)采集這些被測(cè)或被控目標(biāo)的圖像,產(chǎn)生了機(jī)器視覺的概念。機(jī)器視覺系統(tǒng)又稱工業(yè)視覺系統(tǒng),其原理是:將產(chǎn)品或區(qū)域進(jìn)行成像,然后根據(jù)其圖像信息用專用的圖像處理軟件進(jìn)行處理,根據(jù)處理結(jié)果,軟件能自動(dòng)判斷產(chǎn)品的位置、尺寸、外觀信息,并根據(jù)人為預(yù)先設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行自動(dòng)運(yùn)算,自動(dòng)匹配,自動(dòng)判別,自動(dòng)確定是否合格,輸出其判斷信息給執(zhí)行機(jī)構(gòu),并能進(jìn)行結(jié)果分類和自動(dòng)糾正。前沿機(jī)器視覺技術(shù)是測(cè)控合一的,屬于機(jī)器人技術(shù)地帶,具有高智能和高效能特征。

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