在激光的生產(chǎn)和使用過程中,不可避免的會涉及到光束質(zhì)量的檢測和表征,M2和BPP是表達(dá)激光光束質(zhì)量的兩個最常用的物理量。M2和BPP是基于相同的物理概念導(dǎo)出,所以他們兩者之間可以相互換算。
在很多激光器應(yīng)用中,對激光進(jìn)行光束診斷,進(jìn)而控制加工聚焦光束質(zhì)量比較重要的,如果可以控制光束質(zhì)量,就可以得到更加一致的光束加工質(zhì)量。激光的直徑和強(qiáng)度分布可通過光束輪廓分析儀測量,高斯光束傳播時,每個截面的光束形狀都是高斯形,但從束腰到遠(yuǎn)場的強(qiáng)度的輪廓的平坦趨勢會越來越高。很多激光加工應(yīng)用中,往往要求以盡可能小的光斑聚集所有的激光能量,而M2因子便是一個量化激光聚焦能力的參數(shù):
光束質(zhì)量之所以重要是因?yàn)樗桥袛嗉す馄骱脡暮湍芊襁M(jìn)行激光精密加工的一個關(guān)鍵物理量,對于很多種單模輸出的激光器來說,高品質(zhì)的激光器通常都具有很高的光束質(zhì)量,對應(yīng)很小的M2,例如1.05或1.1。而且激光器能夠在使用壽命之內(nèi)都保持很好的光束質(zhì)量,M2數(shù)值幾乎不變。對于激光精密加工而言,高光束質(zhì)量的激光光束更有利于整形,從而進(jìn)行不損傷基底,沒有熱效應(yīng)的平頂激光加工。在實(shí)際使用中,標(biāo)注激光器規(guī)格參數(shù)時,M2多數(shù)用于固體激光器、氣體激光器,而BPP多用于光纖激光器。
描述激光的光束質(zhì)量通常由兩個參數(shù)表達(dá):BPP和M。M很多時候也寫成M2,可以讀作M平方或M2。下圖為高斯光束的縱向分布圖,其中束腰半徑W,遠(yuǎn)場發(fā)散角半角θ。
BPP(Beam Parameter Product),BPP中文名稱是光束參數(shù)乘積,定義為束腰半徑 × 遠(yuǎn)場發(fā)散角
BPP=W × θ
高斯光束的遠(yuǎn)場發(fā)散角半角:
θ0=λ / ΠW0
M:光束參數(shù)乘積與基模高斯光束的光束參數(shù)乘積的比值:
M2=(W×θ)/(W0×θ0)=BPP /(λ/Π)
上述BPP(beam parameter product)為光束參量積,它是一個恒量,等于束腰半徑和遠(yuǎn)場半發(fā)散角的乘積。對于理想高斯光束而言具有最小束腰和發(fā)散角,其光束參量積只和波長有關(guān),而實(shí)際激光的光束參量積需要乘上M因子。所以,M等于實(shí)際光束參量積除以同波長高斯光束參量積的比值,M因子的含義上是相當(dāng)于實(shí)際光束與高斯光束的接近程度。高斯光束的M為1,而實(shí)際光束質(zhì)量越差,而光束參量積越大,M越大。
由以上公式不難發(fā)現(xiàn),其中BPP與波長是無關(guān)的,而M因子也與激光波長有關(guān)。他們主要于激光器的腔體設(shè)計和裝配精度有關(guān)。
M因子數(shù)值無限接近于1,表示真實(shí)數(shù)據(jù)和理想數(shù)據(jù)的比值,當(dāng)真實(shí)數(shù)據(jù)越接近于理想數(shù)據(jù)時,則光束質(zhì)量越好,即當(dāng)M因子越接近于1時,則光束質(zhì)量越好,對應(yīng)的發(fā)散角度越小。
對于光束質(zhì)量的分析,主要依賴光束分析儀進(jìn)行測量。光束質(zhì)量分析儀可以進(jìn)行精準(zhǔn)測量,而使用光斑分析儀則需要復(fù)雜的操作,通過不同位置采集激光截面的數(shù)據(jù),然后通過儀器內(nèi)置程序合成M的數(shù)據(jù),如果在采樣過程中存在操作失誤或測量錯誤,則無法測量分析M的數(shù)值。而對于高功率測量,則需要復(fù)雜的衰減系統(tǒng),使激光功率保持在可測量的范圍內(nèi),避免功率過高損壞儀器探測面。
根據(jù)上圖,可對光纖纖芯和數(shù)值孔徑進(jìn)行估算。對于光纖激光器,束腰半徑ω0=光纖芯徑/2=R,θ=sinα=α=NA(光纖數(shù)值孔徑)
由此可得出結(jié)論:
BPP越小,表示激光器的光束質(zhì)量越好。
對于1.08um的光纖激光器而言,單基模 M2=1,BPP=λ/Π=0.344 mm mrad
對于10.6um的CO2激光器,單基模M2=1,BPP=3.38 mm mrad
假設(shè)兩種單基模(或者多模M2相同的情況下)激光器聚焦后,發(fā)散角一致,則CO2激光器的焦點(diǎn)直徑是光纖激光器的10倍。
M越接近于1,表示激光器的光束質(zhì)量越好。
在激光光束處于高斯分布或近高斯分布時,M因子越接近于1,則表明實(shí)際激光越接近于理想狀態(tài)高斯激光,則光束質(zhì)量越好。
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