皮秒激光新技術(shù)應(yīng)用剛剛興起，主要應(yīng)用行業(yè)包括： 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、太陽能產(chǎn)業(yè)(特別是薄膜技術(shù))、平面顯示產(chǎn)業(yè)、鉆石微鑄造、精確孔徑和電極結(jié)構(gòu)加工、印刷、滾筒壓紋、醫(yī)學(xué)植入等大型微結(jié)構(gòu)表面，大型船艦的微細(xì)加工，高壓縮汽缸注入噴嘴和薄型玻璃材料的切割與鉆孔，強(qiáng)化玻璃、硅、藍(lán)寶石晶圓和發(fā)光二極管等加工。

 

皮秒激光：冷汽化切割方式

脈沖皮秒激光在高峰值功率激光束照射下，能量極快地注入很小的作用區(qū)域10μm，瞬間高能量密度沉積使電子吸收和運(yùn)動(dòng)方式發(fā)生變化，避免了激光線性吸收、能量轉(zhuǎn)移和擴(kuò)散，從根本上改變了激光與物質(zhì)相互作用機(jī)制。材料被高峰值功率瞬間加熱迅速升高至氣化溫度而無明顯融化，使得材料以氣體的形式從材料表面逸出。激光束經(jīng)過高速位移的掃描振鏡反射后經(jīng)平場鏡聚焦在藍(lán)寶石表面，多次重復(fù)轉(zhuǎn)圈運(yùn)動(dòng)，逐漸蝕刻藍(lán)寶石，材料可完全切透分離。

 

光纖激光： 熱熔化切割方式

光纖激光功率相對(duì)較低，單位能量減少相差100倍到1000倍，被激光照射處的材料產(chǎn)生熱熔融化，在高純氮?dú)獾淖饔孟?，熔融的材料由切口底部排出。其中氮?dú)庾饔?.冷卻，2.加速排屑，提高切透力，氮?dú)赓M(fèi)用300元/24小時(shí)。激光束經(jīng)過導(dǎo)光系統(tǒng)進(jìn)入切割頭中透鏡聚焦于藍(lán)寶石表面，使該處材料迅速熔化，形成孔洞，隨平臺(tái)的移動(dòng)，形成切口，借助向下吹的氮?dú)饬鲗⑷刍牟牧洗党?。切割時(shí)激光與氮?dú)獾淖饔卯a(chǎn)生瞬間即熱即冷，容易產(chǎn)生小裂縫以及邊緣斷裂強(qiáng)度的影響，容易掛渣，使得材料不能徹底切割分離。

    皮秒激光器上海致凱捷激光公司致力于先進(jìn)半導(dǎo)體激光技術(shù)及應(yīng)用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)。公司在皮秒激光器領(lǐng)域具有獨(dú)特技術(shù)優(yōu)勢(shì)，加工速度快、精度高。主要應(yīng)用在藍(lán)寶石晶圓切割打孔、薄膜太陽能電池切邊、陶瓷冷燒蝕、ITO膜、平面顯示器、強(qiáng)化玻璃鉆孔、精密金屬微機(jī)械加工, 半導(dǎo)體多晶硅切邊、PCB構(gòu)造、FPC精細(xì)鉆孔，實(shí)現(xiàn)無可見熱效應(yīng)和機(jī)械變形的“冷加工”。皮秒激光加工時(shí)間短到足夠使材料蒸發(fā)，使加工材料邊緣無毛刺、微裂紋、變形等缺點(diǎn)。皮秒激光器體積小，效率高，運(yùn)營成本低，穩(wěn)定可靠。