美國(guó)加利福尼亞州Newport公司推廣Spectra-Physics Pulseo 532-44高功率Q開(kāi)關(guān)綠色激光器,用于高速微電子制造領(lǐng)域。
Spectra-Physics Pulseo Pulseo532-44具有高度均勻與穩(wěn)定的綠色光源,光束質(zhì)量好,脈沖寬度和可靠性高,適用于半導(dǎo)體、玻璃、電子封裝、印刷電路板、陶瓷基板和其他微電子材料的高速高精度切割和鉆孔。Spectra-Physics Pulseo Pulseo532-44的能量大于44瓦,輸出功率平均為532納米,脈沖寬度僅為30納秒,能最大限度地減輕處理后的材料熱損傷,脈沖-脈沖的穩(wěn)定性小于3%。
(工業(yè)和信息化部電子科學(xué)技術(shù)情報(bào)研究所 梁志成)
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