激光技術(shù)水平主要表現(xiàn)在于激光器技術(shù)水平及基于此的應(yīng)用。固體激光器根據(jù)其能量大、峰值功率高、結(jié)構(gòu)緊湊、牢固耐用等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于工業(yè)、國(guó)防、醫(yī)療、科研等方面。但是傳統(tǒng)的固體激光器通常采用高功率氣體放電燈泵浦,其泵浦效率約為3%到6%。泵浦燈發(fā)射出的大量能量轉(zhuǎn)化為熱能,不僅造成固體激光器需采用笨重的冷卻系統(tǒng),而且大量熱能會(huì)造成工作物質(zhì)不可消除的熱透鏡效應(yīng),使光束質(zhì)量變差。
加之泵浦燈的壽命約為300小時(shí),操作人員需花很多時(shí)間頻繁的換燈,中斷系統(tǒng)工作,使自動(dòng)化生產(chǎn)線的效率大大降低,但如果采用二極管泵浦的固體激光器,則可以很好的避免這一點(diǎn)。要適應(yīng)新環(huán)境下的應(yīng)用,固體激光器就必須向著全固化、超短脈沖、短波長(zhǎng)的方向發(fā)展,目前也取得了一定的成績(jī),上海光機(jī)所強(qiáng)光光學(xué)開(kāi)放研究實(shí)驗(yàn)室成功建立了5.4太瓦(1012w)/46飛秒級(jí)小型化超強(qiáng)超短激光裝置,重復(fù)頻率每秒10次,穩(wěn)定可靠,工作臺(tái)面占地不到10平米,光束質(zhì)量?jī)?yōu)良,具備提供1018~1019w/cm2量級(jí)的超高超快強(qiáng)場(chǎng)能力。日本一技術(shù)開(kāi)發(fā)機(jī)構(gòu)經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn)確認(rèn)短波長(zhǎng)的紫外線可制造線寬為0.07微米的半導(dǎo)體元件,實(shí)用化后可將存儲(chǔ)元件的信息存儲(chǔ)容量提高60倍。
現(xiàn)在的半導(dǎo)體元件加工技術(shù)多采用波長(zhǎng)為250納米的紫外線激光在線路板上曝光,能夠蝕刻線寬為0.25至0.15微米的半導(dǎo)體元件。由日本政府和企業(yè)聯(lián)合組成的超尖端電子技術(shù)開(kāi)發(fā)機(jī)構(gòu)通過(guò)實(shí)驗(yàn)確認(rèn),使用波長(zhǎng)為13納米的紫外線可加工線寬為0.07微米的精細(xì)半導(dǎo)體電路。
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