1、工作氣體快速冷卻
二氧化碳激光器的電光轉(zhuǎn)換率一般在10%—20%范圍內(nèi),這可算是轉(zhuǎn)換率很高的了。其余的放電功率大部分通過電子與氣體粒子的彈性碰撞使氣體加熱,溫度升高;對(duì)于高功率激光器來說,氣體溫度升高更快。當(dāng)工作氣壓溫度達(dá)到300℃時(shí),二氧化碳激光器的激光上、下能級(jí)因不存在粒子反轉(zhuǎn),所以沒有激光輸出。實(shí)際情況是氣體溫度大于150℃時(shí),電光轉(zhuǎn)換效率已明顯下降。為此,要求器件具備能快速、有效的帶走放電區(qū)氣體的熱量的能力?,F(xiàn)在常用的有兩種方法:氣體快速對(duì)流冷卻和擴(kuò)散傳導(dǎo)冷卻。
2、大體積放電的均勻性和穩(wěn)定性
高功率氣體放電中的電流、電壓、氣體溫度都較高,輝光放電正柱區(qū)的熱不穩(wěn)定性和電弧收縮等現(xiàn)象較嚴(yán)重。如何保證大體積輝光放電的均勻性和穩(wěn)定性是高功率二氧化碳激光器的關(guān)鍵技術(shù)之一。我們常用的技術(shù)有:
?。?)把大體積的放電區(qū)分成許多小的放電區(qū)分別加以控制。
?。?)氣體快速流動(dòng)不穩(wěn)定的擾動(dòng)因素及時(shí)帶出放電區(qū)。
?。?)增加湍流以增加放電的均勻性。
?。?)增加預(yù)電離或外界電離源以增加放電的均勻性。
3、放電激勵(lì)技術(shù)多樣化
除原有的直流放電(DC放電)激勵(lì)技術(shù)外,還有交流放電(AC放電),射頻放電(RF放電),微波放電,這都是今年發(fā)展的多種新激勵(lì)技術(shù),用的最多的是DC放電和RF放電。
4、優(yōu)良的光束質(zhì)量
激光切割、焊接等應(yīng)用要求有優(yōu)良的光束質(zhì)量,特別是聚焦后的光束愈細(xì)愈好。在高功率激光器中,二氧化碳激光器是光束最好的一種。
5、優(yōu)良的紅外光學(xué)元件
在高功率狀態(tài)下,激光晶體輸出窗口和全反射鏡的熱畸變和熱破壞常是限制激光功率提高和光束質(zhì)量改善的關(guān)鍵技術(shù)問題?;牡倪x用和冷卻、拋光、超精車等工藝問題也是很重要的。
6、既能連續(xù)輸出又能脈沖輸出
不同材料、不同路徑的激光切割機(jī)、焊接、表面處理,往往要求激光束隨時(shí)改變工作方式,有時(shí)要求連續(xù)輸出,有時(shí)要求脈沖輸出波形。近年來出現(xiàn)了增強(qiáng)脈沖輸出,使加工性能明顯提高。
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