高純氣體必須滿足2 個條件:
1、主體成分含量必須大于某一定值。
2、各雜質組分含量必須小于某一定值。
    電子工業(yè)用氣、儀器儀表校準用的零點氣、標準氣配制用氣、色譜載氣等均需滿足以上要求, 可列為高純氣體。
    理論上, 高純氣體的純度= 主體成分含量= 1-∑ 雜質含量。事實上, 用實驗方法直接準確測定高純氣體中主體成分含量是非常困難的。既使象二氧化碳這類產品, 可以通過規(guī)定的方法, 直接測定得到“純度值”, 但該值也包含有水分、酸性氣體及其它與強堿作用的成分。所以說, 該“純度”也并非理論意義上的氣體純度。
    而另外一種通過測定氣體中所含有的所有雜質成分, 計算求得氣體純度(理論純度) 的方法, 同樣難以實現。
    那么, 目前市場上高純氣體產品的“純度”含義又是什么呢? 筆者認為, 所謂高純氣體純度是通過規(guī)定方法直接測得或扣除規(guī)定雜質計算求得的濃度值。這種規(guī)定是生產者和用戶依據生產過程和使用目的共同協商的結果。
    評價高純氣體的質量, 除進行“純度”指標評價外, 還需依據標準對規(guī)定雜質進行逐一核對。任何一項超出規(guī)定的要求, 都不能稱之為合格品。