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新品發(fā)布

Gigaphoton發(fā)布了世界上最大的KrF激光器G45K

星之球科技 來源:光與世界2019-02-22 我要評論(0 )   

近日,半導(dǎo)體光刻光源制造商Gigaphoton株式會社宣布,自2019年3月開始出產(chǎn)世界上最大輸出級KrF激光器G45K,它將有助于進一步提高

近日,半導(dǎo)體光刻光源制造商Gigaphoton株式會社宣布,自2019年3月開始出產(chǎn)世界上最大輸出級KrF激光器G45K,它將有助于進一步提高最尖端存儲芯片的生產(chǎn)效率。

據(jù)了解,Gigaphoton的KrF激光器G45K輸出功率達到50W,比傳統(tǒng)型號提高了25%以上,使得最尖端的存儲芯片能夠?qū)崿F(xiàn)更高效率的生產(chǎn)。

此外,通過將裝置中主要模塊的使用壽命延長20%,能夠大幅減少維護停機的時間,同時也有助于提高生產(chǎn)率。

Gigaphoton的董事總經(jīng)理兼CEO浦中克己先生表示:“隨著物聯(lián)網(wǎng)和人工智能的迅速普及,提高最尖端存儲芯片的生產(chǎn)率是我們的客戶芯片制造商的當務(wù)之急。Gigaphoton的KrF激光器G45K實現(xiàn)了世界上最大級的輸出功率,并且通過延長模塊的壽命節(jié)省了停機時間,我們相信這些將對客戶的高效生產(chǎn)作出貢獻?!?br />

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激光器光刻芯片
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