2月27日，上海光機(jī)所信息光學(xué)與光電技術(shù)實(shí)驗(yàn)室組織專家對(duì)德國(guó)耶拿Friedrich-Schiller大學(xué)教授Frank Wyrowski承擔(dān)的“中國(guó)科學(xué)院外國(guó)專家特聘研究員”項(xiàng)目進(jìn)行了同行評(píng)議。與會(huì)專家聽(tīng)取了Frank Wyrowski教授對(duì)合作項(xiàng)目的進(jìn)展報(bào)告，經(jīng)過(guò)討論，一致認(rèn)為：Frank Wyrowski教授在上海光機(jī)所的兩個(gè)月期間，結(jié)合基于場(chǎng)追跡的光學(xué)仿真軟件VirtualLab，對(duì)光刻機(jī)照明系統(tǒng)關(guān)鍵元件的設(shè)計(jì)與系統(tǒng)仿真工作起到了重要的推動(dòng)作用。評(píng)議專家組認(rèn)為該項(xiàng)目組已完成了預(yù)期研究?jī)?nèi)容，達(dá)到了預(yù)期研究目標(biāo). 

　　在Frank Wyrowski教授的指導(dǎo)下，項(xiàng)目組確定了照明系統(tǒng)的仿真目標(biāo)和基本模型，提出了介于光線追跡和場(chǎng)追跡之間的混合仿真方法；研究了提高衍射光學(xué)元件效率的設(shè)計(jì)方法，通過(guò)降低信噪比使效率提高約3%。面向相關(guān)技術(shù)人員，F(xiàn)rank Wyrowski教授舉辦了以“場(chǎng)追跡技術(shù)和應(yīng)用”為主題的4次系列學(xué)術(shù)報(bào)告。該項(xiàng)目促進(jìn)了雙方的學(xué)術(shù)交流，為雙方深化合作研究奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。