德國MLase公司由準分子激光領導者Tuilaser公司前主要技術和領導負責人合作成立，其技術和管理源于Tuilaser公司，MLase公司專注于高品質的準分子激光的研發(fā)和制造，其產品廣泛應用于醫(yī)療、科研和工業(yè)應用。
主要技術參數：
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型號 |
MLI-500 |
MLI-500 |
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類型 |
準分子激光器 |
準分子激光器 |
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工作物質 |
ArF |
KrF |
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波長 |
193nm |
248nm |
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重復頻率（最大） |
500Hz |
500Hz |
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高電壓開關技術 |
固體開關 |
固體開關 |
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能量 |
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最大能量 |
>14mJ |
>18mJ |
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穩(wěn)定能量 |
>10mJ |
>14mJ |
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能量不穩(wěn)定度 |
<3% |
<3% |
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平均功率（穩(wěn)定能量、最高重頻） |
5W |
7W |
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脈沖寬度 |
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脈沖寬度（FWHM,典型） |
5-10ns |
5-10ns |
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光束數據 |
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光束尺寸（VxH） |
6mmx3mm |
6mmx3mm |
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光束發(fā)散角（VxH） |
2mradx1mrad |
2mradx1mrad |
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壽命 |
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光學的壽命（穩(wěn)定的能量） |
>200Mio |
>500Mio |
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管子壽命（脈沖） |
>2Billion |
>2Billion |
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冷卻 |
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冷卻 |
被動風冷 |
被動風冷 |
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占空循環(huán) |
50%，5min on |
50%，5min on |
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尺寸和重量 |
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設備尺寸(LxWxH) |
最大650x315x445mm |
最大650x315x445mm |
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設備重量 |
<66kg |
<66kg |
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電力供應 |
最大2000VA,單相 |
最大2000VA,單相 |
#p#分頁標題#e#
MLase準分子激光器應用：
1、準分子眼科醫(yī)療；
2、布拉格光柵（FBG）刻寫；
3、掩膜版檢查；
4、脈沖激光沉積；
5、鉆石雕刻；
6、微機械；
7、光譜學研究
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