在沒(méi)有對(duì)空行程進(jìn)行連接優(yōu)化前,考慮到由于空行程不直接影響標(biāo)刻效果,傳統(tǒng)空行程采用前一條可行程的終點(diǎn)直接與后一條空行程的起點(diǎn)直線連接來(lái)過(guò)渡。但是由于振鏡系統(tǒng)的偏轉(zhuǎn)鏡片運(yùn)行接近其最大加速度和最大速度的臨界狀態(tài),由于加速度非常大,雖然空行程直線連接最短,空行程掃描所需時(shí)間能夠減少,節(jié)約每一次的標(biāo)刻時(shí)間。
但是這樣控制激光軌跡,則在實(shí)際振鏡鏡片擺動(dòng)中由于振鏡轉(zhuǎn)動(dòng)慣量的影響其激光運(yùn)行軌跡會(huì)與預(yù)設(shè)軌跡有所偏差,這種情況下以臨界加速度來(lái)行走空行程的一個(gè)問(wèn)題是,會(huì)導(dǎo)致標(biāo)刻路徑的起點(diǎn)和終點(diǎn)處出現(xiàn)指向空行程方向的偏離。
激光打標(biāo)時(shí),在加工設(shè)定的標(biāo)刻圖案時(shí),激光打標(biāo)機(jī)束標(biāo)刻行程之間以空行程連接,空行程即兩條標(biāo)刻路徑之間關(guān)閉激光的那段路徑。由于空行程時(shí)激光器是關(guān)閉的,因此使用任何方式運(yùn)行空行程都是可行的。但空行程的行走卻會(huì)直接影響到實(shí)際標(biāo)刻圖案效果,對(duì)空行程與標(biāo)刻行程的連接優(yōu)化是提高實(shí)際圖形標(biāo)刻后圖形質(zhì)量的一種非常必要的步驟。
因此,采用讓空行程在起點(diǎn)和終點(diǎn)處不再走直線,而是走一條起始方向和結(jié)束方向與對(duì)應(yīng)實(shí)際標(biāo)刻路徑相切的曲線的方法來(lái)解決,同時(shí)能夠保證振鏡系統(tǒng)的偏轉(zhuǎn)鏡片運(yùn)行接近其最大加速度和最大速度的臨界狀態(tài)并順利過(guò)渡到標(biāo)刻行程,在標(biāo)刻路徑的插補(bǔ)計(jì)算上,采用速度規(guī)劃的概念來(lái)整體性地提高標(biāo)刻效率和標(biāo)刻性能。
傳統(tǒng)的空行程以前后相鄰標(biāo)刻行程端點(diǎn)的直線連接過(guò)渡。但由于控制激光束行徑的振鏡偏轉(zhuǎn)鏡片具有一定的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量,這種過(guò)渡形式在高速標(biāo)刻時(shí)會(huì)產(chǎn)生末段過(guò)沖和起始段側(cè)移現(xiàn)象,特別是在標(biāo)刻精細(xì)圖案時(shí)比較明顯。
轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。