“政府部門(mén)到企業(yè)授牌，我們非常感動(dòng)?！?月14日，廣東華特氣體股份有限公司副董事長(zhǎng)石思慧從南海區(qū)副區(qū)長(zhǎng)喬吉飛手上接過(guò)獎(jiǎng)牌和證書(shū)后，高興地說(shuō)。

剛踏入2021年，華特氣體就收獲一份對(duì)其堅(jiān)持創(chuàng)新的嘉獎(jiǎng)。2020年，公司憑借“一種氨氣的純化系統(tǒng)”和“一種三氟甲烷純化裝置及純化方法”兩個(gè)專(zhuān)利，分別摘得了第七屆廣東專(zhuān)利獎(jiǎng)金獎(jiǎng)、第二十一屆中國(guó)專(zhuān)利優(yōu)秀獎(jiǎng)。

如今，堅(jiān)持科研創(chuàng)新的華特氣體，已經(jīng)在特種氣體生產(chǎn)關(guān)鍵環(huán)節(jié)形成了自身的核心技術(shù)，多個(gè)技術(shù)領(lǐng)域達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，是名副其實(shí)的特種氣體領(lǐng)域的“頂尖玩家”。

華特氣體通過(guò)核心技術(shù)攻關(guān)，成為特種氣體領(lǐng)域的頂尖企業(yè)。企業(yè)供圖

打入半導(dǎo)體頂尖供應(yīng)鏈體系

根據(jù)華特氣體2020年第三季度報(bào)告披露，該公司第三季度營(yíng)業(yè)收入比去年同期增加了12.36%。公司總經(jīng)理傅鑄紅認(rèn)為，這與華特氣體在特種氣體產(chǎn)品的深耕有關(guān)。

該公司2020年半年度報(bào)告顯示，目前，華特氣體主營(yíng)業(yè)務(wù)分為三個(gè)板塊，分別是普通工業(yè)氣體、特種氣體，以及與特種氣體相關(guān)的設(shè)備與管路工程，面向全球市場(chǎng)提供氣體應(yīng)用綜合解決方案。

2002年，華特氣體確定了以特種氣體為發(fā)展方向，時(shí)至今日，華特氣體的特種氣體主要用于半導(dǎo)體芯片行業(yè)，目前已實(shí)現(xiàn)對(duì)國(guó)內(nèi)8寸以上集成電路制造廠商超過(guò)80%的客戶(hù)覆蓋率。企業(yè)堅(jiān)持自主研發(fā)，在氣體純化、氣體混配、氣瓶處理等特種氣體生產(chǎn)關(guān)鍵環(huán)節(jié)形成了自身的核心技術(shù)，達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平；在分析檢測(cè)環(huán)節(jié)上達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。

據(jù)了解，華特氣體已在特種氣體領(lǐng)域生產(chǎn)出高純四氟化碳、高純六氟乙烷、高純二氧化碳、高純一氧化氮、高純八氟環(huán)丁烷、高純?nèi)淄?、稀混光刻氣?0多個(gè)產(chǎn)品并實(shí)現(xiàn)了國(guó)內(nèi)同類(lèi)產(chǎn)品的進(jìn)口替代。

在特種氣體領(lǐng)域?qū)Ｑ?8年后，如今，華特氣體已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)最大的民營(yíng)特種氣體及相關(guān)設(shè)備供應(yīng)商，同時(shí)產(chǎn)品出口50多個(gè)國(guó)家和地區(qū)，并獲得海外大型氣體公司的認(rèn)可，是國(guó)內(nèi)少數(shù)實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品出口的氣體公司。

打開(kāi)華特氣體的客戶(hù)名單，堪稱(chēng)星光熠熠：不僅涵蓋了中芯國(guó)際、華虹宏力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、臺(tái)積電、京東方等國(guó)內(nèi)一線(xiàn)知名企業(yè)，華特還進(jìn)入了英特爾、美光、德州儀器、海力士等全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體企業(yè)供應(yīng)鏈體系。

傅鑄紅說(shuō)，經(jīng)歷前期嚴(yán)格的認(rèn)證并通過(guò)后，一旦進(jìn)入供應(yīng)鏈體系并開(kāi)始批量供應(yīng)后，華特氣體與客戶(hù)的合作關(guān)系也就趨向穩(wěn)定，“我們現(xiàn)在的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手基本都是國(guó)外企業(yè)”。

華特氣體已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)最大的民營(yíng)特種氣體及相關(guān)設(shè)備供應(yīng)商。企業(yè)供圖

獲全球頂級(jí)光刻機(jī)企業(yè)認(rèn)證

在華特氣體眾多特種氣體產(chǎn)品中，最亮眼的莫過(guò)于光刻混合氣。該產(chǎn)品于2017年通過(guò)全球最大光刻機(jī)供應(yīng)商阿斯麥產(chǎn)品認(rèn)證。

光刻是芯片制造最關(guān)鍵的工藝之一，光刻需要由光刻機(jī)來(lái)完成，而全球最頂級(jí)的光刻機(jī)公司就是荷蘭的阿斯麥。

“光刻機(jī)里有一個(gè)激光腔，激光腔體內(nèi)要通入稀有的混合氣體，利用稀有氣體電離激發(fā)出一種特定波長(zhǎng)和能量的激光?！备佃T紅說(shuō)，“光刻機(jī)再使用激光，去除芯片表面的光刻膠涂層，在芯片表面形成線(xiàn)寬為納米級(jí)的特定的電路圖案。”

光刻混合氣是非常復(fù)雜且高精度的產(chǎn)品，一般一種光刻氣中會(huì)含有4—5種組分氣體。傅鑄紅解釋?zhuān)诠饪虣C(jī)制造過(guò)程中，需要用激光來(lái)加工芯片表面，讓激光波長(zhǎng)和能量長(zhǎng)時(shí)間保持穩(wěn)定，如果氣體純度不夠或配比不精準(zhǔn)，就會(huì)導(dǎo)致激光能量時(shí)高時(shí)低或不持續(xù)，“這必然影響光刻效果。”

2017年，華特氣體的光刻混合氣通過(guò)全球最頂級(jí)光刻機(jī)公司荷蘭阿斯麥的認(rèn)證，在這個(gè)認(rèn)證名單中，全球僅有四家企業(yè)，華特氣體是中國(guó)唯一一家。而從研發(fā)光刻混合氣，到獲得全球頂級(jí)光刻機(jī)企業(yè)的認(rèn)證，華特氣體用了19年。

這個(gè)認(rèn)證對(duì)華特氣體意義巨大。傅鑄紅說(shuō)，通過(guò)阿斯麥的認(rèn)證，意味著阿斯麥強(qiáng)烈建議它的光刻機(jī)用戶(hù)，在使用阿斯麥光刻機(jī)時(shí)，要配套使用這四家企業(yè)的光刻氣。華特氣體經(jīng)歷一年多時(shí)間不斷向?qū)Ψ秸故旧a(chǎn)過(guò)程、品控手段、精準(zhǔn)檢測(cè)的技術(shù)，“阿斯麥最終相信了我們的專(zhuān)業(yè)能力，最終測(cè)試通過(guò)并獲得了認(rèn)證。”