(l)只需加工激光頭和反光鏡的安裝位置而無須加工整個(gè)尺所在的面,節(jié)省了加工的費(fèi)用;
(2) 速度快(最高可達(dá)4耐s),測(cè)量距離遠(yuǎn)(最遠(yuǎn)可達(dá)l00m);
(3)激光尺安裝時(shí)可以盡可能與運(yùn)動(dòng)方向一致,最大可能消除因測(cè)量位置和實(shí)際位置不一致所產(chǎn)生的阿貝誤差;
(4)高精度(1μm/m),高分辨率(亞納米級(jí));
(5)兩點(diǎn)對(duì)光,安裝方便省事,與常規(guī)反饋元件相比節(jié)省大約80%以上的時(shí)間;
(6)閉環(huán)控制可以獲得更高的增益;
(7)激光尺運(yùn)行過程中相互不接觸,不會(huì)產(chǎn)生磨損;
(8)激光尺在可測(cè)量范圍內(nèi),成本與測(cè)量距離無關(guān)。
轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。