CVI Melles Griot公司17MAX600系列6維精密位移平臺(X, Y, Z, θx, θy, θz)及17MAX300系列3維精密位移平臺(X,Y,Z)集超高的調(diào)節(jié)精度及穩(wěn)定性于一身。專利設(shè)計parallel-flexure技術(shù),使17MAX系列精密位移平臺擁有明顯優(yōu)于同類產(chǎn)品的可靠性。
17 MAX 300及17 MAX 600 系列精密定位平臺可配合Melles Griot公司各種手動差分驅(qū)動器(17DRV002)、步進馬達驅(qū)動器(17DRV001)、及壓電陶瓷驅(qū)動器(17DRV120)一起使用。
17 MAX 系列精密定位平臺中有幾款已經(jīng)裝有內(nèi)置,但通過增加外置的17DRV120 壓電驅(qū)動器還可以進一步提高壓電陶瓷驅(qū)動器的行程。下圖 即為17 MAX 301維精密位移平臺(含內(nèi)置PZT驅(qū)動器)+17DRV120壓電陶瓷驅(qū)動器+17DRV002手動差分驅(qū)動器的組合,這樣既利用了差分驅(qū)動器的較長的行程,又得到了雙倍PZT行程。
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