日前,英諾激光向新客戶交付Micro LED關(guān)鍵設(shè)備,此次交付的產(chǎn)品為激光去晶和激光切割設(shè)備,標志著公司正得到越來越多合作伙伴的認可。
激光去晶作為“剝離-轉(zhuǎn)移-去晶-補晶-共晶”工藝線的關(guān)鍵制程,其作用是利用領(lǐng)先的激光光束整形和聚焦技術(shù),輔以平臺控制系統(tǒng),精準和高效地去除不良芯片、異物、殘膠等,確保晶粒無損傷、無粉塵殘留,對提升巨量轉(zhuǎn)移和修復制程的良率和效率有重要意義。
激光切割可滿足“剝離-轉(zhuǎn)移-去晶-補晶-共晶”工藝線多段制程的掩膜板、MIP封裝、多種材質(zhì)基板等場景的分切需求,能實現(xiàn)高精度、高效率的切割效果,具備熱影響小、機械應(yīng)力小、表面潔凈度高等優(yōu)點。
得益于自身對Micro LED整線工藝的深刻理解,公司瞄準產(chǎn)業(yè)化痛點,創(chuàng)新性地采用自主研發(fā)的固體激光技術(shù),從而在該業(yè)務(wù)領(lǐng)域持續(xù)取得突破,近期亦得到當?shù)亍白灾鲃?chuàng)新產(chǎn)業(yè)發(fā)展專項”的支持。目前,公司已如期完成涵蓋“剝離-轉(zhuǎn)移-去晶-補晶-共晶”工藝線的關(guān)鍵設(shè)備和工藝的開發(fā)工作及材料的驗證工作,可承接客戶的打樣需求,加快與多家合作伙伴交流。
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