半導(dǎo)體激光器發(fā)明于 60 多年前,是當(dāng)今許多技術(shù)的基礎(chǔ),包括條形碼掃描儀、光纖通信、醫(yī)學(xué)成像和遠(yuǎn)程控制。
1960 年,激光技術(shù)的可能性讓科學(xué)界為之震驚,當(dāng)時(shí)長(zhǎng)期處于理論階段的激光首次被演示。三家美國(guó)研究中心在不知情的情況下開始競(jìng)相開發(fā)該技術(shù)的第一個(gè)半導(dǎo)體版本。這三家公司——通用電氣、IBM 的托馬斯·J·沃森研究中心和麻省理工學(xué)院林肯實(shí)驗(yàn)室——在 1962 年短短幾天內(nèi)分別報(bào)告了半導(dǎo)體激光的首次演示。半導(dǎo)體激光器在三次儀式上被指定為 IEEE 里程碑,每臺(tái)設(shè)備都安裝了一塊紀(jì)念牌匾。激光的核心概念可以追溯到 1917 年,當(dāng)時(shí)阿爾伯特·愛(ài)因斯坦提出了「受激發(fā)射」理論。科學(xué)家已經(jīng)知道電子可以自發(fā)吸收和發(fā)射光,但愛(ài)因斯坦認(rèn)為可以操縱電子以特定波長(zhǎng)發(fā)射。工程師們花了幾十年的時(shí)間才將他的理論變成現(xiàn)實(shí)。
20 世紀(jì) 40 年代末,物理學(xué)家們致力于改進(jìn)美國(guó)軍方在二戰(zhàn)中使用的真空管設(shè)計(jì),該真空管通過(guò)放大信號(hào)來(lái)探測(cè)敵機(jī)。新澤西州默里山貝爾實(shí)驗(yàn)室的研究員查爾斯·湯斯就是其中之一。他提議制造一個(gè)更強(qiáng)大的放大器,讓一束電磁波穿過(guò)一個(gè)含有氣體分子的腔體。這束電磁波將刺激氣體中的原子釋放能量,使其與電磁波的波速完全一致,產(chǎn)生的能量使其以更強(qiáng)大的光束形式離開腔體。
1954 年,時(shí)任哥倫比亞大學(xué)物理學(xué)教授的湯斯發(fā)明了一種裝置,他稱之為「微波激射器」(微波激射是受激輻射放大的縮寫)。事實(shí)證明,它是激光的重要先驅(qū)。據(jù)美國(guó)物理學(xué)會(huì)發(fā)表的一篇文章稱,許多理論家都告訴湯斯,他的裝置不可能成功。文章稱,一旦它成功,其他研究人員就會(huì)迅速?gòu)?fù)制它,并開始發(fā)明各種變體。湯斯和其他工程師認(rèn)為,通過(guò)利用高頻能量,他們可以制造出一種能產(chǎn)生光束的光學(xué)版微波激射器。這種裝置可能產(chǎn)生比微波更強(qiáng)大的光束,但它也能產(chǎn)生各種波長(zhǎng)的光束,從紅外線到可見(jiàn)光。1958 年,湯斯發(fā)表了「激光」的理論概述。「令人驚奇的是,62 年前美國(guó)東北部的這三個(gè)組織為我們現(xiàn)在和將來(lái)提供了所有這些能力。」幾個(gè)團(tuán)隊(duì)合作制造了這種裝置,1960 年 5 月,加利福尼亞州馬里布休斯研究實(shí)驗(yàn)室的研究員西奧多·梅曼制造出了第一臺(tái)可以工作的激光器。三個(gè)月后,梅曼在《自然》雜志上發(fā)表了一篇論文,文中描述了這項(xiàng)發(fā)明,它是一種高功率燈,可將光線照射到放置在兩個(gè)鏡面般的鍍銀表面之間的紅寶石棒上。由表面形成的光學(xué)腔振蕩紅寶石熒光產(chǎn)生的光,實(shí)現(xiàn)了愛(ài)因斯坦的受激發(fā)射。基本型激光器現(xiàn)已成為現(xiàn)實(shí)。工程師們迅速開始設(shè)計(jì)各種型號(hào)。許多人可能對(duì)半導(dǎo)體激光器的潛力最為興奮。半導(dǎo)體材料可以在適當(dāng)?shù)臈l件下進(jìn)行操控以導(dǎo)電。從本質(zhì)上講,由半導(dǎo)體材料制成的激光器可以將激光器所需的所有元件(光源和放大器、透鏡和鏡子)裝入微米級(jí)設(shè)備中。據(jù)工程和技術(shù)史維基百科介紹,「這些理想的屬性吸引了跨學(xué)科科學(xué)家和工程師的想象力」。1962 年,一對(duì)研究人員發(fā)現(xiàn)一種現(xiàn)有材料是一種優(yōu)秀的激光半導(dǎo)體:砷化鎵。
砷化鎵是半導(dǎo)體激光器的理想材料
1962 年 7 月 9 日,麻省理工學(xué)院林肯實(shí)驗(yàn)室的研究人員 Robert Keyes 和 Theodore Quist 在固態(tài)器件研究會(huì)議的觀眾面前宣布,他們正在開發(fā)一種實(shí)驗(yàn)性半導(dǎo)體激光器,IEEE 院士 Paul W. Juodawlkis 在麻省理工學(xué)院舉行的 IEEE 里程碑揭幕儀式上發(fā)表演講時(shí)說(shuō)道。Juodawlkis 是麻省理工學(xué)院林肯實(shí)驗(yàn)室量子信息與集成納米系統(tǒng)小組的主任。Juodawlkis 說(shuō),當(dāng)時(shí)的激光器還不能發(fā)射出相干光束,但這項(xiàng)工作進(jìn)展很快。Juodawlkis 和奎斯特隨后震驚了觀眾:他們說(shuō),他們可以證明,注入砷化鎵半導(dǎo)體的電能幾乎 100% 可以轉(zhuǎn)化為光。麻省理工學(xué)院林肯實(shí)驗(yàn)室的 Robert Keyes(左起)、Theodore M. Quist 和 Robert Rediker 在電視機(jī)上測(cè)試他們的激光。之前從未有人提出過(guò)這樣的主張。觀眾們都難以置信,而且紛紛表示難以置信。「當(dāng) Juodawlkis 演講結(jié)束時(shí),一位觀眾站起來(lái)說(shuō),『呃,這違反了熱力學(xué)第二定律,』」朱奧達(dá)爾基斯說(shuō)。觀眾爆發(fā)出笑聲。但物理學(xué)家羅伯特·N·霍爾(Robert N. Hall)——紐約州斯克內(nèi)克塔迪通用電氣研究實(shí)驗(yàn)室的半導(dǎo)體專家——讓他們安靜了下來(lái)。「鮑勃·霍爾站出來(lái)解釋了為什么它不違反第二定律,」朱奧達(dá)爾基斯說(shuō)?!高@引起了轟動(dòng)?!?/section>多個(gè)團(tuán)隊(duì)競(jìng)相開發(fā)出可以運(yùn)行的半導(dǎo)體激光器,最終勝負(fù)只差幾天。
「驚人的巧合」
半導(dǎo)體激光器由微小的半導(dǎo)體晶體制成,該晶體懸浮在充滿液氮的玻璃容器內(nèi),這有助于保持設(shè)備冷卻。
霍爾回到通用電氣公司,受到 Juodawlkis 和奎斯特演講的啟發(fā),確信他可以帶領(lǐng)一個(gè)團(tuán)隊(duì)制造出高效、有效的砷化鎵激光器。他已經(jīng)花了數(shù)年時(shí)間研究半導(dǎo)體,發(fā)明了所謂的「pin」二極管整流器。該整流器使用由半導(dǎo)體材料純凈的鍺制成的晶體,可以將交流電轉(zhuǎn)換為直流電——這是用于電力傳輸?shù)墓虘B(tài)半導(dǎo)體的一個(gè)關(guān)鍵發(fā)展。這一經(jīng)驗(yàn)加速了半導(dǎo)體激光器的發(fā)展。霍爾和他的團(tuán)隊(duì)使用了與「pin」整流器類似的裝置。他們制造了一種二極管激光器,它從三分之一毫米大小的砷化鎵晶體中產(chǎn)生相干光,該晶體夾在兩個(gè)鏡子之間的腔體中,因此光會(huì)反復(fù)來(lái)回反射。這項(xiàng)發(fā)明的消息發(fā)表在 1962 年 11 月 1 日的《物理評(píng)論快報(bào)》上。當(dāng)霍爾和他的團(tuán)隊(duì)工作時(shí),位于紐約州約克敦高地的沃森研究中心的研究人員也在工作。根據(jù) ETHW 的說(shuō)法,1962 年 2 月,之前從事砷化鎵研究的 IBM 研究員馬歇爾·I·內(nèi)森(Marshall I. Nathan)從其部門主管那里得到了一項(xiàng)任務(wù):制造第一臺(tái)砷化鎵激光器。內(nèi)森帶領(lǐng)一支研究小組,其中包括威廉·P·杜姆克、杰拉爾德·伯恩斯、弗雷德里克·H·迪爾和戈登·拉舍爾,共同開發(fā)了這種激光器。他們?cè)?10 月完成了這項(xiàng)任務(wù),并親手將一份概述其工作的論文交給了《應(yīng)用物理快報(bào)》,該報(bào)于 1962 年 10 月 4 日發(fā)表了該論文。在麻省理工學(xué)院林肯實(shí)驗(yàn)室,奎斯特、Juodawlkis 和他們的同事羅伯特·雷迪克在 1962 年 11 月 5 日的《應(yīng)用物理快報(bào)》。這一切發(fā)生得太快了,以至于《紐約時(shí)報(bào)》的一篇文章對(duì)這一「驚人的巧合」表示驚嘆,并指出 IBM 的官員直到 GE 發(fā)出新聞發(fā)布會(huì)邀請(qǐng)后才知道 GE 的成功。麻省理工學(xué)院的一位發(fā)言人告訴《紐約時(shí)報(bào)》,GE 比自己的團(tuán)隊(duì)「早了幾天或一周」就取得了成功。IBM 和 GE 均于 10 月份申請(qǐng)了美國(guó)專利,并且最終均獲得了批準(zhǔn)。目前,這三家機(jī)構(gòu)均因其出色的工作而榮獲 IEEE 嘉獎(jiǎng)。「也許半導(dǎo)體激光器在通信領(lǐng)域的影響力最大」,ETHW 的一篇文章寫道,「每一秒,半導(dǎo)體激光器都會(huì)悄悄地將人類的知識(shí)總和編碼成光,使其能夠幾乎瞬間跨越海洋和太空進(jìn)行共享?!?/section>IBM Research 的半導(dǎo)體激光器采用砷化鎵 pn 二極管,該二極管采用蝕刻臺(tái)面結(jié)構(gòu)制成小型光學(xué)腔。朱奧達(dá)爾基斯在林肯實(shí)驗(yàn)室的儀式上指出,每次你「打電話」或「用谷歌搜索傻貓視頻」時(shí)都會(huì)用到半導(dǎo)體激光器。「如果我們放眼更廣闊的世界,」他說(shuō),「半導(dǎo)體激光器確實(shí)是信息時(shí)代的基石之一?!?/section>他在演講結(jié)束時(shí)引用了 1963 年《時(shí)代》雜志的一篇文章:「如果全世界要在數(shù)千個(gè)不同的電視節(jié)目之間做出選擇,那么只需幾個(gè)二極管用其微弱的紅外光束就可以同時(shí)選擇所有節(jié)目?!?/section>朱奧達(dá)爾基斯說(shuō),這是「半導(dǎo)體激光器的先見(jiàn)之明」。「62 年前,美國(guó)東北部的這三個(gè)組織所做的一切,為我們現(xiàn)在和未來(lái)提供了所有這些能力,真是令人驚嘆。」目前,通用電氣公司、沃森研究中心和林肯實(shí)驗(yàn)室都展示了表彰該技術(shù)的紀(jì)念牌匾。上面寫著:1962 年秋,通用電氣的斯克內(nèi)克塔迪和錫拉丘茲工廠、IBM 托馬斯·沃森研究中心和麻省理工學(xué)院林肯實(shí)驗(yàn)室分別報(bào)告了半導(dǎo)體激光器的首次演示。半導(dǎo)體激光器比米粒還小,采用直流注入供電,波長(zhǎng)范圍從紫外線到紅外線,在現(xiàn)代通信、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和精密測(cè)量系統(tǒng)中無(wú)處不在。