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大族半導體分選機,領航國產半導體分選設備

來源:大族半導體2023-06-21 我要評論(0 )   

隨著新興技術、高性能計算、5G、物聯(lián)網(wǎng)等應用市場爆發(fā),不同應用的需求功能越來越多,集成器件也更加繁雜,封裝技術的發(fā)展同樣需要滿足電子產品小型化、輕量化、多功能...

隨著新興技術、高性能計算、5G、物聯(lián)網(wǎng)等應用市場爆發(fā),不同應用的需求功能越來越多,集成器件也更加繁雜,封裝技術的發(fā)展同樣需要滿足電子產品小型化、輕量化、多功能、低功耗、高性能等需求。在此市場環(huán)境下,先進封裝憑借成本低、良率高、芯片集成度高的優(yōu)勢,逐步擠占傳統(tǒng)封裝的市場份額,有望成為主流的技術方向。


圖片

傳統(tǒng)封裝和先進封裝的制程差異縮略圖


晶圓級芯片分選機,是Wafer to Tape形式的芯片分選設備,致力于提供高水準、高精度、100%AOI視覺一站式分選解決方案。其主要功能是:對芯片的六個面進行外觀檢查、缺陷判定和分選編帶,每小時效率可達40K,適用于倒裝封裝、晶圓級封裝等半導體先進封裝工藝,是半導體先進封裝設備國產替代重要的一環(huán)。


在工藝流程上,設備應用于半導體芯片先進封裝制程的最后一道工序,即對接著切割流程,是半導體芯片生產過程中必不可少的環(huán)節(jié)。其工作流程如下:


圖片晶圓級芯片分選機工作流程圖



大族半導體
晶圓級芯片分選機

圖片


規(guī)格參數(shù)

圖片 


高速、高精度、高穩(wěn)定性

設備配置高速高精度直線電機平臺,由直線電機直接驅動,配套光柵反饋系統(tǒng),重復定位精度±2μm,可快速精準定位;UPH最高可達45K(包含100%視覺檢測),放置精度誤差僅20μm。


高兼容性

● 設備可兼容6寸、8寸、12寸的晶圓;

● 可適用產品范圍:0.5x0.5mm(min),9x9mm(max);

● 當更換不同規(guī)格產品時,只需整個編帶組件移出到機臺外側即可,最快可實現(xiàn)1小時復機。


自動對位系統(tǒng)

頂針、吸嘴、編帶間配置自動對位系統(tǒng),可快速檢測并校正吸嘴和吸嘴、吸嘴和頂針、吸嘴與編帶間的位置偏差,使原本復雜費時的產品更換和調試時間大大縮短,新產品調試更快更簡單;且可實現(xiàn)精準吸取、放料,確保高效安全生產。


可分離的擴膜驅動系統(tǒng)

晶圓只在特定位置擴膜,避免晶圓在生產調試過程中移位撞擊吸嘴,減少芯片在釋放過程承受機械壓力所帶來的產品損耗,使產品更安全。


出色的高精度的AOI視覺檢測

● 晶圓級芯片分選機的自動光學AOI檢測技術,可以自動定位和檢測晶圓芯片,配置不同倍率的高解析度鏡頭,最小可檢測2μm左右的瑕疵尺寸。

● 為了進一步提高晶粒產出質量,晶粒分選環(huán)節(jié)進行全程檢測,包括:晶粒入編前AOI六面檢,入編后正面檢、封膜前后效果檢測。


模塊化開發(fā)設計,安裝維護更便捷

● 結構上實現(xiàn)模塊化設計,方便一體式拆裝;

● 設備電氣控制部分線路采用端子插排,氣管的走線美觀清晰,維護簡單高效,總線控制方式更換電機驅動方便快捷。


芯片分選領域,品牌分選機最優(yōu)之選,毋庸置疑---大族分選機

● 優(yōu)秀的研發(fā)與設計能力;

● 嚴格品質管控;

● 高效精準的生產制造;

● 快速的售后反應;

● 可提供個性化方案定制服務。





大族半導體作為半導體行業(yè)高端設備制造商,將始終秉承自主創(chuàng)新理念在半導體裝備領域持續(xù)深耕、不斷完善,以領先的研發(fā)實力和成熟的應用成果,為客戶提供源源不斷的專業(yè)解決方案,助力加速半導體裝備國產化替代進程。


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