主要用于激光鉆孔應(yīng)用的激光器是 CO2、Nd:YAG、準(zhǔn)分子和銅蒸氣激光器 (CVL)。
CO2激光
脈沖模式的 CO2 激光器可用于金屬和非金屬的鉆孔。然而,尤其是在金屬上鉆小孔和/或深孔時(shí),Nd:YAG 激光器更適合,因?yàn)樗谳^短波長(Nd:YAG 為 1.06μm,CO2 為 10.6μm)下具有更好的能量耦合,并且峰值功率更高和脈沖重復(fù)率,中低功率 CO2 激光器主要用于非金屬鉆孔應(yīng)用和陶瓷劃線(即一系列孔)。
Nd:YAG 激光器
Nd:YAG 激光器(基波波長 1.06μm)是用于金屬激光鉆孔的主要激光器,主要應(yīng)用無疑是航空發(fā)動(dòng)機(jī)部件(渦輪葉片、燃燒室等)的冷卻孔鉆孔。使用非線性晶體(提供倍頻),即縮短激光波長,Nd:YAG 激光器也可以在光譜的可見光或紫外 (UV) 部分工作。
準(zhǔn)分子激光器
準(zhǔn)分子激光器發(fā)射光譜紫外部分的激光,主要用于精密鉆孔、仿形和微加工,如微電子行業(yè)中印刷電路板/印刷線路板的微孔鉆孔。它們也最適合在一個(gè)或幾個(gè)步驟中制作孔陣列。由于低脈沖重復(fù)率,準(zhǔn)分子激光器不太適合用于金屬。
銅蒸氣激光器 (CVL)
基本 CVL 產(chǎn)生光譜可見部分(綠色和黃色)的激光, CVL 固有地以非常高的重復(fù)率脈沖。 CVL 與準(zhǔn)分子激光器一樣,用于精密鉆孔、仿形和微加工。 CVL 可用于大多數(shù)材料,包括金屬。
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