磁控濺射鍍膜機(jī)是一種普適鍍膜機(jī),用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系??慑兏鞣N硬質(zhì)膜、金屬膜、合金、化合物、半導(dǎo)體、陶瓷膜、介質(zhì)復(fù)合膜和其他化學(xué)反應(yīng)膜,亦可鍍鐵磁材料。主要用于實(shí)驗(yàn)室制備有機(jī)光電器件的金屬電極及介電層,以及制備用于生長納米材料的催化劑薄膜層。
磁控濺射鍍膜機(jī)鍍膜原理為磁控濺射,相對化學(xué)鍍膜方式,其優(yōu)點(diǎn)為膜層附著力更強(qiáng),焊接后拉力測試大于10N;均勻性更好;化學(xué)鍍膜在60倍顯微鏡下可看到明顯的針孔、凸起,而磁控濺射沒有針孔和凸起。 磁控濺射鍍膜方式因生產(chǎn)產(chǎn)品過程中始終保持真空,因此無二次污染。下圖為設(shè)備實(shí)物圖。 (磁控濺射鍍膜機(jī)) 除了以上優(yōu)點(diǎn),磁控濺射鍍膜機(jī)單純鍍金產(chǎn)能為4萬+根/月,且鍍膜種類多,含蓋所有金屬,典型鍍層有Cr、Ti、Ni、Au。也可以進(jìn)行混合鍍膜,比如Ni和Au混合、Ti和Au和Cr混合。 磁控濺射鍍膜機(jī)的優(yōu)勢明顯,一直以高功率及保偏器件為產(chǎn)品生產(chǎn)研發(fā)導(dǎo)向的光越科技(深圳)有限公司近期引進(jìn)磁控濺射鍍膜機(jī)并且經(jīng)過研發(fā)人員的不斷驗(yàn)證,完成高精度研磨機(jī)項(xiàng)目,磁控濺射鍍金系列產(chǎn)品也正式投入生產(chǎn),產(chǎn)品系列如下: 金屬薄膜質(zhì)量優(yōu) ,耐腐蝕性強(qiáng); 鍍金薄膜均勻性致密,膜層光滑密實(shí),顯微鏡下觀察無針孔; 高牢固度附著力(優(yōu)于蒸發(fā)機(jī)),與基片結(jié)合度高,鍍膜控制精準(zhǔn); 鍍膜有效面積:50x50mm ,金靶純度99.99%。 (空氣入射5°反射率曲線,測試波段中遠(yuǎn)紅外2000-25000nm) (空氣入射5°金反射率測試曲線,測試波段400-2500nm) (空氣入射45°光譜曲線,測量波段400-2500nm) 金+保護(hù)膜(400-20000nm) (金+保護(hù)膜2000-20000nm) 金屬化藍(lán)寶石窗口片是使用鉻、鎳、金鍍于藍(lán)寶石窗口片邊緣制作而成的新型窗口片,金屬膜邊緣可直接焊接或連接到光學(xué)機(jī)械裝配上,達(dá)到密封效果。 應(yīng)用:光通訊、激光窗口、紅外成像系統(tǒng)、醫(yī)療設(shè)備等。 優(yōu)勢:符合MIL-STD-883可焊性標(biāo)準(zhǔn);金屬化材料可定制:Cr、Ti、Ni、Au等。 應(yīng)用:非制冷紅外探測器 優(yōu)勢:根據(jù)客戶定制鍍金處理Si基片,Ge基片;1~6.8μm透過率小,同時(shí)7.5~14μm的透過率高;可鍍制金屬化薄膜用于焊接。 斜面、微透鏡、楔形光纖所用的設(shè)備為完全自主研發(fā),設(shè)備可依據(jù)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)不同而進(jìn)行修改。可生產(chǎn)多種要求的光纖。 使用該設(shè)備加工出的光纖精度高,角度誤差在1°內(nèi),尺寸誤差控制在1微米內(nèi),端面質(zhì)量好,在400倍端檢儀下觀察無可見劃痕、麻點(diǎn)。 透鏡光纖性能對比 參數(shù) 光越 市面出售產(chǎn)品 錐角誤差 ±2.5° ±5° 角度誤差 ±2.5° ±5° 曲率誤差 ±1um ±1um 偏心量 ±1um ±1.5um 鍍層拉力 ≥15N ≥10N 鍍金光纖性能對比 性能 光越 市面出售產(chǎn)品 鍍層拉力 ≥15N ≥10N 膜層厚度 約300nm 100~1000nm 單爐裝載量 672根/爐 350根/爐 單爐時(shí)間 2H/爐 5H/爐 備注: 錐角誤差主要是指微透鏡光纖的圓錐夾角,對于單模,其精度越高,加工曲率的良率就越高。對于多模光纖,錐度的精度越高其耦合效率一致性更好。 角度誤差主要是指楔形透鏡光纖的夾角,對于其精度越高,加工的曲率的良率就越高。對于多模光纖,錐度的精度越高其耦合效率一致性更好。 曲率精度越高,耦合效率越高。 偏心量越小,透鏡光纖的光軸與光纖包層軸線的夾角越小,從而方便耦合調(diào)試,提高生產(chǎn)效率。 大拉力可以降低產(chǎn)品使用不當(dāng)導(dǎo)致的壞損率,對使用環(huán)境適應(yīng)性更強(qiáng)。 行業(yè)的快速發(fā)展,產(chǎn)品迭代的速度也越來越快,而光越科技也將保持初心,主攻高功率及保偏器件市場,探索市場動(dòng)向,為客戶提供更符合市場需求的產(chǎn)品。
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