深紫外連續(xù)激光器(<300nm)廣泛應(yīng)用于拉曼光譜、熒光光譜、光學(xué)測(cè)試、殺菌滅活及半導(dǎo)體材料檢測(cè)等領(lǐng)域。
傳統(tǒng)這種類型激光器一般使用1um左右的基頻光,通過四倍頻得到?;蛘邭怏w激光器的二倍頻得到。轉(zhuǎn)換效率低下,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,體積臃腫,晶體溫控精度要求高,多需要配有體積較大的風(fēng)冷或水冷系統(tǒng),增加了功耗,不便于維護(hù),難以集成在便攜和手持設(shè)備中使用。
最近有公司開發(fā)一種商業(yè)化的基于blue diode的小型固體激光器。它由一個(gè)444nm的Blue diode+摻鐠激光晶體+二倍頻晶體+耦合腔鏡構(gòu)成,輸出>10mW。
激光振蕩器結(jié)構(gòu)決定了較好的光斑模式。
X方向M2<6.5;Y方向M2<1.1.(推測(cè)和Blue diode快慢軸光束質(zhì)量造成)
444nm 泵浦光,使用鐠晶體出522nm基頻光輸出,決定了較低的量子虧損和較好的波長(zhǎng)穩(wěn)定性及較窄的線寬。
輸出波長(zhǎng)溫度穩(wěn)定性:
522nm基頻光輸出譜線:(FWHM 0.42nm)
522nm基頻光的模式和線寬決定了倍頻效率及輸出波長(zhǎng)線寬:100pm
激光器設(shè)計(jì)難點(diǎn):
1. 鐠激光晶體的吸收峰在444nm,吸收帶寬1nm左右,要求在工作電流下泵浦光波長(zhǎng)必須穩(wěn)定在444nm。
半導(dǎo)體激光器芯片波長(zhǎng)的控制具有一定的分布,比如808nm的LD基本上在808+/-3nm范圍,溫漂系數(shù)0.3nm/°C??梢酝ㄟ^熱沉溫度+/-10°C范圍內(nèi)調(diào)整到想要的波長(zhǎng)位置。Blue diode 溫漂系數(shù)0.09nm/°C,如果波長(zhǎng)和808波長(zhǎng)分布范圍一致,則需要+/-30°C的溫度調(diào)節(jié)范圍,通過溫控調(diào)節(jié)波長(zhǎng)的可能性幾乎為0。
一種可行的辦法是人工挑選合適波長(zhǎng)的的Blue diode。但是此種辦法成本高昂,消耗時(shí)間。藍(lán)光LD每年數(shù)百萬支的數(shù)量銷售到激光顯示和照明行業(yè),幾乎沒有藍(lán)光LD廠家情愿配合挑選用量極少的泵浦產(chǎn)品。另外一種選擇是,使用VBG將波長(zhǎng)鎖定在444附近或者類似以前燈泵激光器的方案,在激光晶體表面鍍上444nm的帶通膜。
2. 對(duì)于Nd YAG,Nd YVO4晶體而言,端泵會(huì)導(dǎo)致正的熱透鏡效應(yīng),而鐠激光晶體產(chǎn)生的是負(fù)的熱透鏡效應(yīng),需要晶體表面或耦合鏡片有一定曲率對(duì)熱透鏡效應(yīng)進(jìn)行補(bǔ)償,以穩(wěn)定腔體。
261nm CW激光器的應(yīng)用:
1. 殺菌滅活
261nm波長(zhǎng)是病原體滅活的峰值波長(zhǎng)。激光器亮度是深紫外LED或Hg燈的10000倍。高亮度有利于設(shè)計(jì)高效率的用于水、空氣或物體表面的殺菌滅活系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。
2.半導(dǎo)體行業(yè)檢測(cè)
深紫外波長(zhǎng)理想的半導(dǎo)體材料缺陷檢測(cè)和測(cè)量光源
3. 熒光光譜
深紫外波長(zhǎng)可高效激發(fā)蛋白質(zhì)和生物分子的自然熒光,提取生物信息。高亮度更有利于提高探測(cè)靈敏度和空間分辨率。
4.紫外拉曼光譜
深紫外、窄線寬、連續(xù)波特型理想的拉曼光譜光源??商岣邷y(cè)量精度、信噪比、靈敏度及空間分辨率。
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