9月22日，大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團股份有限公司（下稱“大族激光”）在互動平臺回復投資者關于研發(fā)光刻機技術的問題表示，公司光刻機項目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等方面的應用。

大族激光表示，公司和荷蘭阿斯麥公司沒有合作。荷蘭阿斯麥（ASML）是全球領先的半導體行業(yè)光刻系統(tǒng)供應商，負責設計和制造光刻機。

此外，在回復投資者關于公司三季度訂單情況時，大族激光稱，公司三季度訂單充足，產(chǎn)能利用率情況良好。公司應用于第三代半導體的設備已經(jīng)實現(xiàn)批量銷售。

大族激光1996年創(chuàng)立于深圳，是亞洲最大、世界排名前三的工業(yè)激光加工設備生產(chǎn)廠商，主要產(chǎn)品包括激光打標機系列、激光焊接機系列、激光切割機系列、新能源激光焊接設備、激光演示系列、PCB鉆孔機系列、工業(yè)機器人等多個系列200余種工業(yè)激光設備及智能裝備解決方案。